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Revêtement de pulvérisation magnétron DC RF à double cible avec type de cible inférieure pour le revêtement métallique noble

Ce dispositif peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films d'alliage, des films semi-conducteurs, des films céramiques, des films diélectriques, des films optiques, des films d'oxyde, des films durs, des films PTFE, etc.
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-MSP500S-DCRF-B

  • TN

Revêtement de pulvérisation magnétron DC RF à double cible avec type de cible inférieure pour le revêtement de métaux nobles

La coucheuse de pulvérisation magnétron DC RF à double cible est équipée d'un système de pulvérisation magnétron DC RF à double cible, permettant un revêtement efficace et précis des métaux nobles.Le type de cible inférieure garantit un revêtement uniforme sur tout le substrat, ce qui entraîne un dépôt de film cohérent et de haute qualité.


Grâce à sa technologie avancée, cette coucheuse offre une excellente adhérence du film, des taux de dépôt élevés et une faible contrainte du film.Il fournit également une large gamme de paramètres de processus, permettant la personnalisation et l'optimisation des conditions de revêtement.L'interface conviviale et les commandes intuitives facilitent l'utilisation et la surveillance du processus de revêtement.


Cette coucheuse par pulvérisation convient aux laboratoires de recherche et développement, aux universités et aux applications industrielles.Il est idéal pour diverses applications telles que les revêtements optiques, les appareils électroniques, les cellules solaires, les capteurs, etc.Sa construction robuste et ses performances fiables garantissent un fonctionnement durable et efficace.


Dans l’ensemble, la coucheuse par pulvérisation magnétron RF DC à double cible avec type de cible inférieure pour le revêtement métallique noble est une solution polyvalente et fiable pour un dépôt de film précis et de haute qualité.Ses fonctionnalités avancées et sa conception conviviale en font un excellent choix pour les professionnels du domaine.


coucheuse de pulvérisation magnétron paramètre technique :


Modèle

TN-MSP500S-DCRF-B

Saisir

AC220V, 50Hz

Pouvoir total

6KW

Degré de vide limite

5x10-4Pa

Exemples de paramètres de tableau

Taille

150 diamètres.

Hauteur

70 mm réglable

Chauffage

≤500℃

Vitesse de rotation

1-20 tr/min

Paramètres de la tête de pulvérisation magnétron

Quantité

2 jeux, 2 pouces

Mode refroidissement

Refroidi par eau, débit requis 10L/min

Refroidisseur d'eau

Refroidissement par eau en circulation 10L/min

Chambre à vide

Taille

500mmDia.× 490 mm de hauteur

Matériel

Acier inoxydable

Fenêtre de montre

100 mm de diamètre.

Mode ouvert

porte à ouverture frontale

Contrôleur de débit de gaz

1 canal 200 sccm Ar ;

Pompe à vide

Pompage du système de pompe moléculaire, 600L/S

Jauge d'épaisseur de film

Jauge d'épaisseur de film vibrant à Quartz,

un ensemble, résolution 0,10 Å

Alimentation par pulvérisation

Alimentation CC : un jeu, 500 W, pour films métalliques

Alimentation RF : un jeu, 500 W, pour films non métalliques

Mode de fonctionnement

Fonctionnement informatique tout-en-un

Dimensions hors tout

1090mm X 900mm X 1250mm

Poids total

350 kg


sur: 
En vertu d'un: 
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