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Machine de pulvérisation planétaire à magnétron à cible unique avec cavité en quartz pour films conducteurs

Le dispositif de pulvérisation planétaire à magnétron à cible unique peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films d'alliage, etc.Par rapport à un équipement similaire, la coucheuse par pulvérisation magnétron à double cible est non seulement largement utilisée, mais présente également les avantages d'une petite taille et d'une utilisation facile, et constitue un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire.
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-MSP180G-PST

  • TN

Présentation de notre coucheuse de pulvérisation magnétron planétaire à cible unique avec cavité en quartz pour films conducteurs.Ce système de revêtement avancé est conçu pour les professionnels ayant besoin d’une préparation de film précise et efficace.


Grâce à sa conception planétaire innovante, notre coucheuse par pulvérisation cathodique permet la création de films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films conducteurs et de films d'alliage.Cette polyvalence en fait un outil précieux pour un large éventail d'applications dans des secteurs tels que l'électronique, l'optique et la recherche.


Equipée d'une cavité en quartz, notre coucheuse assure une qualité et une uniformité optimales du film.Le matériau quartz offre une excellente stabilité thermique et permet des taux de dépôt élevés, garantissant des résultats cohérents et fiables à chaque fois.


Conçue pour les professionnels, notre coucheuse par pulvérisation offre une facilité d'utilisation et de contrôle inégalée.L'interface conviviale permet des ajustements précis des paramètres tels que le temps de dépôt, la puissance et le débit de gaz, garantissant ainsi les conditions parfaites pour vos besoins spécifiques en matière de film.


De plus, notre coucheuse dispose d'une source de pulvérisation magnétron robuste, qui permet un dépôt de film efficace et uniforme.Cela garantit une productivité élevée et minimise le gaspillage de matériaux, vous permettant ainsi d'économiser du temps et des ressources.


Construit avec des matériaux de la plus haute qualité et une technologie de pointe, notre coucheur de pulvérisation magnétron planétaire à cible unique avec cavité en quartz pour films conducteurs est conçu pour durer.Sa construction durable et ses performances fiables en font un atout précieux pour tout professionnel recherchant des capacités exceptionnelles de préparation de films.


Investissez dans notre coucheuse par pulvérisation et libérez le potentiel d’une préparation de film précise et efficace.Découvrez la différence que notre technologie avancée et notre conception conviviale peuvent faire dans votre travail.Faites confiance à notre engagement à fournir des équipements de qualité professionnelle répondant aux normes de qualité et de performance les plus élevées.


Paramètres techniques de la coucheuse planétaire de pulvérisation magnétron à cible unique :

TN-MSP180G-PST (planétaire   table d'échantillons) coucheuse par pulvérisation magnétron à cible unique

Échantillon   scène

Taille

φ50mm   x4

Rotation   vitesse

Le   la vitesse de révolution est réglable de 0 à 10 tr/min, et la révolution et la rotation   le rapport de vitesse est de 1:5

Magnétron   cible de pulvérisation

Quantité

2'   x1



Vide   chambre

Chambre   taille

Φ180mm   x 100mm

Observation   fenêtre

Omnidirectionnel   visibilité

Chambre   matériel

Haut   quartz de pureté

Ouverture   méthode

Haut   housse amovible

Inférieur   bride

Contient   mécanisme de transmission planétaire, interface à vide soudée et soupape d'admission

Vide   système

Mécanique   pompe

En deux étapes   pompe à palettes

Pompage   interface

KF16

Moléculaire   pompe

Turbomoléculaire   pompe

Pompage   interface

KF40

Vide   la mesure

Résistance   jauge + jauge d'ionisation

Échappement   interface

KF40

Ultime   vide

1.0E-3Pa

Pouvoir   fournir

CA   220 V 50/60 Hz

Pompage   taux

Support   pompe : 1,1 L/s Pompe moléculaire : 60 L/S

Pouvoir   configuration

Quantité

CC   alimentation x1

Maximum   puissance de sortie

CC   alimentation 300W

Autre

Fournir   tension

AC220V,   50Hz

Dans l'ensemble   taille

500mm   x 320mm x620mm

Total   pouvoir

2 kW







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