| Quantité: | |
|---|---|
TN-MSP210S-DC-D
TN
Cet équipement est une coucheuse par pulvérisation magnétron à double cible, qui peut être utilisée dans la préparation de films métalliques, dans les domaines de l'électronique, de l'optique, des céramiques spéciales, etc. elle peut également être utilisée pour préparer des échantillons SEM en laboratoire.
Il adopte une chambre en acier inoxydable sous vide poussé, une conception d'ouverture de porte avant et une fenêtre d'observation en quartz sur la porte, ce qui est pratique pour l'observation et l'enregistrement de l'expérience.Dans le même temps, l'équipement est équipé d'une table d'échantillons chauffante rotative, qui peut améliorer efficacement l'uniformité et la qualité du film.Un ensemble de déflecteurs est installé sur le capot supérieur, et les deux cibles peuvent être commutées en tournant le déflecteur pour réaliser un revêtement multicouche.
Cet équipement doit être utilisé avec un groupe de pompes moléculaires à vide poussé.Les utilisateurs peuvent choisir une petite pompe moléculaire de marque importée pour économiser davantage la zone d'installation.
Dans le même temps, le modèle peut être équipé de composants de mesure de l'épaisseur du film, qui peuvent surveiller l'épaisseur du film en temps réel et fournir des paramètres fiables pour le processus expérimental.
coucheuse de pulvérisation magnétron à double cible paramètre technique :
Étape d'échantillonnage | Taille | 100mm | Chauffage | ≤500℃ |
Vitesse de rotation | 1-20 tr/min | Contrôle de la température | ±1 ℃ | |
Tête de pulvérisation magnétron | Quantité | 2'x2 | Mode refroidissement | Refroidi à l'eau |
Chambre à vide | Taille | Diamètre 210 mm × 260 mm | Fenêtre de montre | φ40mm |
Matériel | SUS | Mode ouvert | Ouverture frontale | |
Alimentation par pulvérisation | Alimentation CC | 1 jeu | Puissance de sortie | ≤300W |
Tension de sortie | ≤600V | Temps de réponse | ＜5ms | |
Eau froide | Capacité du réservoir | 9L | Couler | 10 L/min |
Jauge d'épaisseur de film | Précision | 0,1 angström | Mode refroidissement | Eau froide |
Autre | Source de courant | AC220V, 50Hz | Pouvoir total | 4kw |
Système de pompe moléculaire | Pompe de support | Pompe à palettes | Pompage | 1,1 L/s |
Pompe secondaire | pompe turbo moléculaire (domestique) | Pompage | 600L/s | |
Interface d'extraction | KF40 | Sortie d'air | KF16 |
Cet équipement est une coucheuse par pulvérisation magnétron à double cible, qui peut être utilisée dans la préparation de films métalliques, dans les domaines de l'électronique, de l'optique, des céramiques spéciales, etc. elle peut également être utilisée pour préparer des échantillons SEM en laboratoire.
Il adopte une chambre en acier inoxydable sous vide poussé, une conception d'ouverture de porte avant et une fenêtre d'observation en quartz sur la porte, ce qui est pratique pour l'observation et l'enregistrement de l'expérience.Dans le même temps, l'équipement est équipé d'une table d'échantillons chauffante rotative, qui peut améliorer efficacement l'uniformité et la qualité du film.Un ensemble de déflecteurs est installé sur le capot supérieur, et les deux cibles peuvent être commutées en tournant le déflecteur pour réaliser un revêtement multicouche.
Cet équipement doit être utilisé avec un groupe de pompes moléculaires à vide poussé.Les utilisateurs peuvent choisir une petite pompe moléculaire de marque importée pour économiser davantage la zone d'installation.
Dans le même temps, le modèle peut être équipé de composants de mesure de l'épaisseur du film, qui peuvent surveiller l'épaisseur du film en temps réel et fournir des paramètres fiables pour le processus expérimental.
coucheuse de pulvérisation magnétron à double cible paramètre technique :
Étape d'échantillonnage | Taille | 100mm | Chauffage | ≤500℃ |
Vitesse de rotation | 1-20 tr/min | Contrôle de la température | ±1 ℃ | |
Tête de pulvérisation magnétron | Quantité | 2'x2 | Mode refroidissement | Refroidi à l'eau |
Chambre à vide | Taille | Diamètre 210 mm × 260 mm | Fenêtre de montre | φ40mm |
Matériel | SUS | Mode ouvert | Ouverture frontale | |
Alimentation par pulvérisation | Alimentation CC | 1 jeu | Puissance de sortie | ≤300W |
Tension de sortie | ≤600V | Temps de réponse | ＜5ms | |
Eau froide | Capacité du réservoir | 9L | Couler | 10 L/min |
Jauge d'épaisseur de film | Précision | 0,1 angström | Mode refroidissement | Eau froide |
Autre | Source de courant | AC220V, 50Hz | Pouvoir total | 4kw |
Système de pompe moléculaire | Pompe de support | Pompe à palettes | Pompage | 1,1 L/s |
Pompe secondaire | pompe turbo moléculaire (domestique) | Pompage | 600L/s | |
Interface d'extraction | KF40 | Sortie d'air | KF16 |
