| Quantité: | |
|---|---|
TN-MSP300S-3DC
TN
La coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est équipée de trois cibles, permettant le dépôt simultané de différents matériaux, ce qui la rend très polyvalente et efficace.La coucheuse fonctionne selon le principe de pulvérisation magnétron DC, garantissant un dépôt de film uniforme et de haute qualité.
Grâce à sa technologie avancée et à son système de contrôle précis, cette coucheuse par pulvérisation magnétron offre un contrôle exceptionnel de l'épaisseur du film, allant de quelques nanomètres à quelques micromètres.Ses paramètres réglables permettent de personnaliser les propriétés du film, telles que la densité, la composition et la force d'adhésion.
La conception compacte et l'interface conviviale de la coucheuse la rendent facile à utiliser et à entretenir.Il est équipé de fonctions de sécurité, notamment d'une protection contre les surintensités et les surtensions, garantissant un environnement de travail sécurisé.
Que vous soyez dans la recherche et le développement, le milieu universitaire ou la production industrielle, cette coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est un outil indispensable pour la préparation de films métalliques de haute qualité.Sa polyvalence, son efficacité et son contrôle précis le rendent adapté à un large éventail d'applications, notamment l'électronique, l'optique, le stockage d'énergie, etc.
Investissez dans cette coucheuse de qualité professionnelle et débloquez des possibilités infinies en matière de dépôt de couches minces.Bénéficiez de performances, de fiabilité et de productivité supérieures avec notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles.
Étape d'échantillonnage | Taille | Dia.140mm |
Température de chauffage | Maximum 500 ℃ | |
Précision de la température | ±1 ℃ | |
Vitesse rotationnelle | 1-20 tr/min réglable | |
Tête de pulvérisation magnétron | Quantité | 2'×3 (1',2' en option) |
Mode refroidissement | Eau froide | |
Refroidisseur d'eau | Refroidisseur d'eau à circulation avec un débit de 10L/min | |
Chambre à vide | Taille de la chambre | Diamètre 300 mm × 300 mm |
Matériau de la chambre | Acier inoxydable | |
Fenêtre de montre | Dia.100mm | |
Mode d'ouverture | Capot supérieur ouvert | |
Débitmètre massique | 2 canaux ;plage de mesure 100SCCM ;100SCCM (peut être personnalisé selon les besoins du client) | |
Système de vide | Modèle | TN-GZK103-A |
Pompe moléculaire | TN-600 | |
Pompe de support | Pompe à palettes | |
Vide ultime | 1,0E-5Pa | |
Interface de pompage | CF160 | |
Interface d'échappement | KF40 | |
Mesure du vide | Jauge à vide composée | |
Source de courant | CA ; 220 V 50/60Hz | |
Taux de pompage | Pompe moléculaire : Pompe à palettes rotatives 600L/S : 1,1L/S Performances complètes de pompage de gaz : vide jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes | |
Configuration de l'alimentation | Quantité | Alimentation CC x2 Alimentation RF x1 |
Puissance de sortie maximale | CC 500 W, RF 500 W | |
Autres paramètres | Tension d'alimentation | AC220V, 50Hz |
Pouvoir total | 4KW | |
Taille globale | 600 mm × 650 mm × 1280 mm | |
Poids total | Environ 300 kg | |
La coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est équipée de trois cibles, permettant le dépôt simultané de différents matériaux, ce qui la rend très polyvalente et efficace.La coucheuse fonctionne selon le principe de pulvérisation magnétron DC, garantissant un dépôt de film uniforme et de haute qualité.
Grâce à sa technologie avancée et à son système de contrôle précis, cette coucheuse par pulvérisation magnétron offre un contrôle exceptionnel de l'épaisseur du film, allant de quelques nanomètres à quelques micromètres.Ses paramètres réglables permettent de personnaliser les propriétés du film, telles que la densité, la composition et la force d'adhésion.
La conception compacte et l'interface conviviale de la coucheuse la rendent facile à utiliser et à entretenir.Il est équipé de fonctions de sécurité, notamment d'une protection contre les surintensités et les surtensions, garantissant un environnement de travail sécurisé.
Que vous soyez dans la recherche et le développement, le milieu universitaire ou la production industrielle, cette coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est un outil indispensable pour la préparation de films métalliques de haute qualité.Sa polyvalence, son efficacité et son contrôle précis le rendent adapté à un large éventail d'applications, notamment l'électronique, l'optique, le stockage d'énergie, etc.
Investissez dans cette coucheuse de qualité professionnelle et débloquez des possibilités infinies en matière de dépôt de couches minces.Bénéficiez de performances, de fiabilité et de productivité supérieures avec notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles.
Étape d'échantillonnage | Taille | Dia.140mm |
Température de chauffage | Maximum 500 ℃ | |
Précision de la température | ±1 ℃ | |
Vitesse rotationnelle | 1-20 tr/min réglable | |
Tête de pulvérisation magnétron | Quantité | 2'×3 (1',2' en option) |
Mode refroidissement | Eau froide | |
Refroidisseur d'eau | Refroidisseur d'eau à circulation avec un débit de 10L/min | |
Chambre à vide | Taille de la chambre | Diamètre 300 mm × 300 mm |
Matériau de la chambre | Acier inoxydable | |
Fenêtre de montre | Dia.100mm | |
Mode d'ouverture | Capot supérieur ouvert | |
Débitmètre massique | 2 canaux ;plage de mesure 100SCCM ;100SCCM (peut être personnalisé selon les besoins du client) | |
Système de vide | Modèle | TN-GZK103-A |
Pompe moléculaire | TN-600 | |
Pompe de support | Pompe à palettes | |
Vide ultime | 1,0E-5Pa | |
Interface de pompage | CF160 | |
Interface d'échappement | KF40 | |
Mesure du vide | Jauge à vide composée | |
Source de courant | CA ; 220 V 50/60Hz | |
Taux de pompage | Pompe moléculaire : Pompe à palettes rotatives 600L/S : 1,1L/S Performances complètes de pompage de gaz : vide jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes | |
Configuration de l'alimentation | Quantité | Alimentation CC x2 Alimentation RF x1 |
Puissance de sortie maximale | CC 500 W, RF 500 W | |
Autres paramètres | Tension d'alimentation | AC220V, 50Hz |
Pouvoir total | 4KW | |
Taille globale | 600 mm × 650 mm × 1280 mm | |
Poids total | Environ 300 kg | |
