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Machine de pulvérisation magnétron DC à cible unique, avec cavité en acier inoxydable, pour films TiN

La coucheuse par pulvérisation magnétron DC est un outil polyvalent dans le dépôt de films minces, offrant des avantages tels que des taux de dépôt élevés, une bonne adhérence du film et la capacité de recouvrir uniformément de grandes surfaces. C'est une technologie clé dans les industries allant de la microélectronique à l'optique, ainsi que dans la recherche académique.
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-MSZ194-I-DC-SS

  • TN

Notre coucheuse par pulvérisation magnétron DC à cible unique de bureau est un équipement de pointe conçu pour le dépôt de couches minces dans une variété d'applications. Cette coucheuse est idéale pour la fabrication de produits microélectroniques, les revêtements optiques, les revêtements durs et résistants à l'usure, les films magnétiques, les cellules solaires et les dispositifs énergétiques.


Grâce à sa technologie avancée et à son ingénierie de précision, cette coucheuse par pulvérisation cathodique offre un contrôle inégalé sur le processus de dépôt, résultant en des films minces de haute qualité avec une uniformité et une adhérence exceptionnelles. Sa conception à cible unique permet un revêtement efficace et rentable des substrats, ce qui en fait un choix idéal pour les laboratoires de recherche et développement, les universités et les installations de production à petite échelle.


Que vous travailliez sur la microélectronique de nouvelle génération, développiez des revêtements optiques avancés ou exploriez de nouveaux matériaux pour les appareils énergétiques, notre coucheuse de pulvérisation magnétron CC à cible unique de bureau est l'outil parfait pour vous aider à atteindre vos objectifs. Faites confiance à notre expertise et à notre expérience pour vous fournir une solution fiable et efficace pour tous vos besoins en matière de dépôt de couches minces.


Paramètres techniques de la coucheuse de pulvérisation magnétron :


nom du produit

Cavité de bureau en acier inoxydable   appareil de revêtement par pulvérisation cathodique magnétron CC à cible unique

Numéro de produit

TN-MSZ194-I-DC-SS

platine d'échantillonnage


Dimensions

φ100mm

Température de chauffage

≦500℃

Vitesse réglable

≦20 tr/min

Pistolet à cible magnétique

Équipé d'une cible de contrôle magnétique de deux pouces, taille de la cible : diamètre   50,8 mm, épaisseur ≦3 mm

chambre à vide


Taille de la cavité

φ194mm X 263mm

fenêtre d'observation

transparent omnidirectionnel

Matériau de la cavité

Acier inoxydable 304

Méthode d'ouverture

Capot supérieur amovible

Système de vide


Pompe de support

Pompe à palettes bipolaire à faible bruit

Pompe moléculaire

Pompe turbomoléculaire à faible bruit et à vitesse de pompage élevée

Mesure du vide

Jauge à vide composite, plage : 1*10-4Pa

Interface d'extraction d'air

KF16

Interface d'extraction d'air

KF40

Interface d'échappement

KF16

Système de vide

1,0×10-4Pennsylvanie

Alimentation

CA 220 V 50/60 Hz

Taux de pompage

La vitesse de pompage de la pompe moléculaire est de 60 L/s et la vitesse de pompage   de la pompe de support est de 1,1 L/s.

Configuration de l'alimentation


Nombre d'alimentations

Un ensemble d'alimentation CC

Puissance de sortie

Alimentation CC 500W

Autres paramètres

Tension d'alimentation

AC220V, 50Hz

Puissance totale

2 kW

poids

80 kg

Taille globale

550mm X 450mm X750mm


sur: 
En vertu d'un: 
DEMANDE DE PRODUIT

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Qui est un fabricant spécialisé dans la production d'instruments scientifiques de laboratoire.Nos produits sont largement utilisés dans les collèges, les instituts de recherche et les laboratoires.

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