Revêtement de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau avec cavité en acier inoxydable pour film électronique

modèle du produit

TN-MSP190S-1T-A

Conditions d'installation

1, température de l'environnement de travail : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité : 55 % RH ± 10 % RH ;

2, alimentation de l'équipement : AC220V, 50 Hz, doit être bien mise à la terre ;

3, puissance nominale : 1000 W ;

4, Équipement pour le gaz ： La chambre de l'équipement doit être remplie de gaz argon pour le nettoyage.   Le client doit préparer du gaz argon avec une pureté ≥99,99 %.

5, exigences de taille de table : 600 mm × 600 mm × 700 mm, capacité portante ≥ 50 kg ;

6, la position doit être bien ventilée et refroidie.

Indicateurs techniques

1. Alimentation de pulvérisation : alimentation CC 300 W ; tension de sortie maximale   600 V, sortie de courant limitée 500 mA

2. Cible magnétron : cible d'équilibre de 2 pouces, magnétique   déflecteur de couplage ;

3. Matériau cible approprié : φ50 mm x 3 mm d'épaisseur

4、Taille de la cavité：à l'extérieur   diamètre 194, diamètre intérieur 186 mm x hauteur 230 mm

5. Matériau de la cavité : acier inoxydable 304

6、 Échantillon de chauffage rotatif   tableau：faire pivoter   vitesse 1 ~ 20 tr/min  réglable en continu ； chauffage maximum   température 500 ℃, le   taux de chauffage recommandé le plus bas 10 ℃/min, le   taux de chauffage recommandé le plus élevé 20 ℃/min.

7、 Mode de refroidissement ：cible magnétique et   la pompe moléculaire nécessite un refroidisseur d'eau à circulation

8. Machine de refroidissement par eau : le volume du réservoir 9L, débit   débit 10L/min

9. Système d'alimentation en gaz : débitmètre massique, type de   Gaz Argon, débit 1 ~ 30 sccm (personnalisable)

10、 Précision du débitmètre ：±1,5% plage de mesure

11、Interface de pompage d'air   de la chambre à vide est KF25

12、 L'interface d'admission d'air est   Joint à double virole de 1/4 pouces

13、 L'écran tactile est de 7 pouces   écran tactile couleur

14、 Pulvérisation réglable   le courant, la valeur du courant de sécurité de pulvérisation et la valeur du vide de sécurité peuvent être définis ;

15、  protection de sécurité : surintensité, vide trop faible   coupe automatiquement le courant de pulvérisation

16、 Vide ultime : 5E-4Pa (moléculaire correspondant   pompe);

17、Vide   la mesure est une jauge à vide Parana, la plage est : 1 ~ 105 Pa

Avis

1, pulvérisation magnétron   a un vide de travail élevé, généralement inférieur à 2 Pa, et doit être utilisé avec des   pompe.

2, afin d'atteindre un   environnement sans oxygène élevé, la chambre à vide doit être nettoyée au moins 3   fois avec du gaz inerte de haute pureté.

3, la pulvérisation magnétron est   sensible à l'entrée d'air, un débitmètre massique est donc nécessaire pour contrôler l'entrée d'air

Accessoire en option

Film

Moniteur d'épaisseur

1, épaisseur du film   résolution ： 0,0136Å (aluminium)

2, précision du film   épaisseur : ± 0,5 %, il   dépend des conditions du processus, en particulier de la position du capteur, de la contrainte du matériau,   température et densité  

3, vitesse de mesure : 100 ms-1 s/fois, mesure   la plage peut être réglée : 500 000 Å (aluminium)

4, cristal de capteur Standard: 6 MHz

5, adapté à la plaquette   fréquence: 6 MHz  

adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm

bride de montage：CF35

Un autre accessoire

·              1, série CY-CZK103 haute performance   ensemble de pompes moléculaires (comprenant un manomètre composite, une plage de mesure   10-5Pa~105Pa)

Ensemble de petites pompes moléculaires série CY-GZK60 (comprenant un manomètre composite, une plage de mesure   10-5Pa~102Pa)

Palette rotative bipolaire VRD-4   pompe à vide

2, soufflet à vide KF25 ;   La longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 m.Support de serrage KF40

3, mètre d'épaisseur de film   Oscillateur à cristal;