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Machine de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau avec table d'échantillons alternative pour préparer des films ferroélectriques monocouches

L'appareil de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau avec table d'échantillons alternative peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films d'alliage, etc.Par rapport à un équipement similaire, la coucheuse par pulvérisation magnétron à double cible est non seulement largement utilisée, mais présente également les avantages d'une petite taille et d'une utilisation facile, et constitue un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire.
État de disponibilité:
Quantité:
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La coucheuse magnétron à cible unique de bureau est équipée d'une table d'échantillons alternative, permettant un revêtement précis et uniforme.


Cette coucheuse par pulvérisation magnétron à cible unique de bureau de haute qualité est parfaite pour les chercheurs et les professionnels dans le domaine du dépôt de couches minces.Grâce à sa technologie avancée et ses performances fiables, il garantit une préparation précise et efficace de divers films minces.


La coucheuse est spécialement conçue pour le dépôt de films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films conducteurs, de films d'alliage et d'autres films minces.Sa technique de pulvérisation magnétron garantit une excellente qualité et uniformité du film.


Équipée d'une table d'échantillons alternative, cette coucheuse offre un contrôle précis du processus de revêtement.La table d'échantillons se déplace d'avant en arrière, assurant une répartition uniforme du matériau pulvérisé sur le substrat.Cette fonctionnalité est essentielle pour obtenir des résultats cohérents et reproductibles.


La machine de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau est conviviale, avec une interface simple et des commandes intuitives.Il permet un ajustement facile des paramètres de dépôt tels que la puissance de pulvérisation, le temps de dépôt et le débit de gaz.Cela le rend adapté aussi bien aux chercheurs expérimentés qu’aux nouveaux arrivants dans le domaine.


La conception compacte de cette coucheuse la rend idéale pour les laboratoires disposant d’un espace limité.Il peut facilement s’adapter à une paillasse de laboratoire standard, sans compromettre ses performances.Sa construction robuste garantit durabilité et fiabilité à long terme.


En conclusion, la machine de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau avec table d'échantillons alternative est un outil de qualité professionnelle pour préparer des films minces de haute qualité.Ses fonctionnalités avancées, son interface conviviale et sa conception compacte en font un ajout précieux à toute installation de recherche ou de production.

Paramètres techniques de la coucheuse de pulvérisation magnétron à cible unique :

Table d'échantillons à mouvement alternatif

taille

50*100mm

Réciproque   vitesse

0 ~ 50 mm/s

Pistolet cible magnétron

Cible   avion

Cible plate circulaire

Pulvérisation   vide

10 Pa ~ 0,2 Pa

Cible   diamètre

5 centimètres

Cible   épaisseur

Recommandé 2 ~ 5 mm

Cible   température

≦65℃

Chambre à vide

Cavité   taille

À propos   Φ180 mm × H 215 mm

Cavité   matériel

Haut   quartz de pureté

Observation   fenêtre

Omnidirectionnel   transparence

Ouverture   méthode

Amovible   le couvercle supérieur

source de courant

CC   source de courant

150W maximum

Quantité

1

Système de pompe moléculaire

Première ligne   pompe



Rotatif   Pompe à palettes

VRD-4

Pompage   vitesse

1,1L/S

Ultime   vide

5*10-1Pennsylvanie

Moléculaire   pompe

Moléculaire   vitesse de pompage

600 L/S

Noté   vitesse

24 000 tr/min

Ultime   vide

5*10-5Pennsylvanie

Vibration   valeur

≦0,1um

Commencer   Time

≦4,5min

Temps d'arrêt

<7min

refroidissement   méthode

Refroidissement par eau + refroidissement par air

Refroidisseur d'eau

Refroidissement   la température de l'eau

≦37℃

Refroidissement   Débit d'eau

10L/min

Tension d'alimentation

AC220V 50Hz



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