| Quantité: | |
|---|---|
TN-MSH325-III-DCDCRF-SS
TN
Présentation de notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles de pointe, conçue pour les applications avancées de dépôt de couches minces dans diverses industries. Cet équipement de pointe est équipé d'une gamme de fonctionnalités qui le rendent idéal pour produire des films minces en alliage de haute qualité, des revêtements optiques complexes, des films en alliage magnétique, des cellules solaires à couches minces, des revêtements en alliage dur, des couches résistantes à la corrosion, etc. .
Notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est un outil polyvalent essentiel pour la recherche en science des matériaux et en nanotechnologie, ainsi qu'à des fins de prototypage et d'expérimentation. Avec un contrôle précis des paramètres de dépôt, notamment l’épaisseur, la composition et l’uniformité du film, cette coucheuse permet la création de revêtements personnalisés adaptés à des exigences spécifiques.
Que vous travailliez au développement de nouveaux matériaux, à l'amélioration de produits existants ou que vous meniez des recherches dans le domaine de la technologie des couches minces, notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles offre la fiabilité, la flexibilité et les performances dont vous avez besoin pour atteindre vos objectifs. Investissez dès aujourd’hui dans cet équipement de pointe et faites passer vos capacités de dépôt de couches minces au niveau supérieur.
Produit nom | Horizontal vide poussé coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles | |
Produit modèle | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
Pouvoir tension d'alimentation | AC220V, 50Hz | |
Complet pouvoir | 6KW | |
Système vide | ≦5×10-4Pa | |
Échantillon scène | Dimensions | φ150mm |
Chauffage température | ≦850℃ | |
Température précision du contrôle | ±1 ℃ | |
Adjustable vitesse | ≦20 tr/min | |
Magnétron Cible de pulvérisation | Cible taille | Diamètre Φ50,8 mm, épaisseur ≦3 mm |
Refroidissement mode | Circulé refroidissement par eau | |
Eau taille du débit | Not moins de 10L/Min | |
Quantité | 3 | |
Vide chambre | Cavité taille | Diamètre φ325mm |
Cavité matériel | SUU304 acier inoxydable | |
Observation fenêtre | Diamètre φ100mm | |
Ouverture méthode | Haut ouverture | |
Gaz contrôle | 1 le débitmètre massique est utilisé pour contrôler le débit Ar, avec une plage de 200SCCM | |
Vide système | Équipé avec 1 pompe moléculaire système, vitesse de pompage de gaz 600L/S | |
Film mesure d'épaisseur | Facultatif film de cristal de quartz mesureur d'épaisseur, résolution 0,10 Å | |
Pulvérisation alimentation | Équipé avec alimentation cc, puissance 500W*2 alimentation RF 300W | |
Contrôle système | CYKY professionnel auto-développé système de contrôle | |
Équipement dimensions | 570mm×1040mm×1700mm | |
Équipement poids | 250 kg | |
La coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles pour films minces en alliage est un équipement spécialisé conçu pour déposer des compositions d'alliage complexes et des revêtements multicouches en utilisant trois matériaux cibles différents. Cette configuration permet une large gamme d'applications, en particulier dans les domaines où un contrôle précis de la composition et des propriétés des films minces est crucial. Voici les principaux domaines dans lesquels une coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est couramment utilisée :
Fabrication avancée de microélectronique et de semi-conducteurs:
Films minces en alliage: La machine est idéale pour déposer des films minces d’alliage, qui sont cruciaux dans les dispositifs semi-conducteurs avancés. En pulvérisant simultanément à partir de trois cibles différentes, il est possible de créer des compositions d'alliages complexes essentielles à la microélectronique de nouvelle génération.
Films multicouches et dégradés: Cet équipement est utilisé pour créer des films multicouches avec différents matériaux, permettant la fabrication de dispositifs aux propriétés électriques, optiques et mécaniques améliorées.
Optoélectronique et Photonique:
Revêtements optiques complexes: Dans le domaine de l'optoélectronique, le système à trois cibles est utilisé pour déposer des revêtements optiques complexes, tels que des filtres, des miroirs et des revêtements antireflet, avec des indices de réfraction et des propriétés optiques adaptés.
Oxydes conducteurs transparents (TCO): La machine peut déposer des TCO avec des compositions d'alliages spécifiques, qui sont utilisés dans les affichages, les écrans tactiles et les appareils photovoltaïques.
Stockage magnétique et spintronique:
Films en alliage magnétique: La coucheuse est utilisée pour déposer des films d'alliage magnétiques, tels que ceux utilisés dans les disques durs et les mémoires vives magnétiques (MRAM). La capacité de contrôler la composition des alliages magnétiques est cruciale pour optimiser les performances de ces dispositifs.
Dispositifs spintroniques: En spintronique, les couches minces d'alliages aux propriétés magnétiques spécifiques sont essentielles. Un système à trois cibles permet d'ajuster précisément ces propriétés en ajustant la composition des alliages déposés.
Stockage et conversion d'énergie:
Composants de batterie et de pile à combustible: La machine est utilisée pour déposer des films minces destinés aux dispositifs de stockage d'énergie, tels que les batteries et les piles à combustible. Les films minces d'alliage peuvent être adaptés pour être utilisés comme matériaux d'électrode, revêtements protecteurs ou couches catalytiques.
Cellules solaires à couches minces: Dans la production de cellules solaires à couches minces, la coucheuse à trois cibles est utilisée pour déposer des couches d'alliage complexes qui servent de matériaux absorbants ou de couches tampons, améliorant ainsi l'efficacité et la stabilité des cellules solaires.
Revêtements résistants à l'usure et protecteurs:
Revêtements en alliage dur: La coucheuse est utilisée pour déposer des revêtements d'alliages durs, tels que ceux combinant des éléments comme le titane, l'aluminium et le chrome. Ces revêtements sont appliqués sur les outils, les moules et les composants mécaniques pour améliorer la résistance à l'usure et prolonger la durée de vie.
Couches résistantes à la corrosion: Les films minces d'alliage qui offrent une résistance à la corrosion sont utilisés dans diverses applications industrielles, notamment les environnements aérospatiaux, automobiles et marins.
Revêtements décoratifs et fonctionnels:
Revêtements esthétiques: La machine peut être utilisée pour créer des revêtements décoratifs avec des compositions d'alliage qui offrent à la fois un attrait visuel et des propriétés fonctionnelles, telles que la résistance aux rayures ou la conductivité, pour l'électronique grand public, les bijoux et les garnitures automobiles.
Couches fonctionnelles dans l'architecture: Les revêtements d'alliage sur le verre architectural peuvent offrir une efficacité énergétique, une protection UV et d'autres avantages fonctionnels tout en contribuant également à l'apparence esthétique des bâtiments.
Recherche et développement:
Science des matériaux et nanotechnologie: Le système à trois cibles est largement utilisé en R&D pour explorer de nouveaux matériaux et développer de nouvelles compositions d'alliages avec des propriétés adaptées à des applications spécifiques. Il est particulièrement utile pour étudier les relations entre la composition, la structure et les performances des films minces.
Prototypage et expérimentation: Les chercheurs utilisent la machine pour prototyper de nouveaux dispositifs et matériaux, en expérimentant différentes combinaisons d'alliages et conditions de dépôt pour obtenir les résultats souhaités.
Films supraconducteurs:
Recherche sur les supraconducteurs: La machine est utilisée pour déposer des films d'alliages supraconducteurs, tels que ceux à base de niobium-étain (Nb₃Sn) ou d'autres supraconducteurs haute température. Ces films sont essentiels à la recherche et aux applications impliquant la supraconductivité.
Applications biomédicales:
Revêtements biocompatibles: Des films minces en alliage sont utilisés pour créer des revêtements biocompatibles sur les implants et dispositifs médicaux. Le système à trois cibles permet un contrôle précis de la composition de l’alliage pour obtenir les propriétés biologiques et mécaniques souhaitées.
Dans l’ensemble, une coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles pour films minces d’alliage offre une formidable polyvalence, permettant le développement de matériaux complexes avec des compositions et des propriétés spécifiques. Il s'agit d'un outil essentiel dans des secteurs allant de l'électronique et de l'énergie aux soins de santé et à la recherche avancée.
Présentation de notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles de pointe, conçue pour les applications avancées de dépôt de couches minces dans diverses industries. Cet équipement de pointe est équipé d'une gamme de fonctionnalités qui le rendent idéal pour produire des films minces en alliage de haute qualité, des revêtements optiques complexes, des films en alliage magnétique, des cellules solaires à couches minces, des revêtements en alliage dur, des couches résistantes à la corrosion, etc. .
Notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est un outil polyvalent essentiel pour la recherche en science des matériaux et en nanotechnologie, ainsi qu'à des fins de prototypage et d'expérimentation. Avec un contrôle précis des paramètres de dépôt, notamment l’épaisseur, la composition et l’uniformité du film, cette coucheuse permet la création de revêtements personnalisés adaptés à des exigences spécifiques.
Que vous travailliez au développement de nouveaux matériaux, à l'amélioration de produits existants ou que vous meniez des recherches dans le domaine de la technologie des couches minces, notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles offre la fiabilité, la flexibilité et les performances dont vous avez besoin pour atteindre vos objectifs. Investissez dès aujourd’hui dans cet équipement de pointe et faites passer vos capacités de dépôt de couches minces au niveau supérieur.
Produit nom | Horizontal vide poussé coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles | |
Produit modèle | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
Pouvoir tension d'alimentation | AC220V, 50Hz | |
Complet pouvoir | 6KW | |
Système vide | ≦5×10-4Pa | |
Échantillon scène | Dimensions | φ150mm |
Chauffage température | ≦850℃ | |
Température précision du contrôle | ±1 ℃ | |
Adjustable vitesse | ≦20 tr/min | |
Magnétron Cible de pulvérisation | Cible taille | Diamètre Φ50,8 mm, épaisseur ≦3 mm |
Refroidissement mode | Circulé refroidissement par eau | |
Eau taille du débit | Not moins de 10L/Min | |
Quantité | 3 | |
Vide chambre | Cavité taille | Diamètre φ325mm |
Cavité matériel | SUU304 acier inoxydable | |
Observation fenêtre | Diamètre φ100mm | |
Ouverture méthode | Haut ouverture | |
Gaz contrôle | 1 le débitmètre massique est utilisé pour contrôler le débit Ar, avec une plage de 200SCCM | |
Vide système | Équipé avec 1 pompe moléculaire système, vitesse de pompage de gaz 600L/S | |
Film mesure d'épaisseur | Facultatif film de cristal de quartz mesureur d'épaisseur, résolution 0,10 Å | |
Pulvérisation alimentation | Équipé avec alimentation cc, puissance 500W*2 alimentation RF 300W | |
Contrôle système | CYKY professionnel auto-développé système de contrôle | |
Équipement dimensions | 570mm×1040mm×1700mm | |
Équipement poids | 250 kg | |
La coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles pour films minces en alliage est un équipement spécialisé conçu pour déposer des compositions d'alliage complexes et des revêtements multicouches en utilisant trois matériaux cibles différents. Cette configuration permet une large gamme d'applications, en particulier dans les domaines où un contrôle précis de la composition et des propriétés des films minces est crucial. Voici les principaux domaines dans lesquels une coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est couramment utilisée :
Fabrication avancée de microélectronique et de semi-conducteurs:
Films minces en alliage: La machine est idéale pour déposer des films minces d’alliage, qui sont cruciaux dans les dispositifs semi-conducteurs avancés. En pulvérisant simultanément à partir de trois cibles différentes, il est possible de créer des compositions d'alliages complexes essentielles à la microélectronique de nouvelle génération.
Films multicouches et dégradés: Cet équipement est utilisé pour créer des films multicouches avec différents matériaux, permettant la fabrication de dispositifs aux propriétés électriques, optiques et mécaniques améliorées.
Optoélectronique et Photonique:
Revêtements optiques complexes: Dans le domaine de l'optoélectronique, le système à trois cibles est utilisé pour déposer des revêtements optiques complexes, tels que des filtres, des miroirs et des revêtements antireflet, avec des indices de réfraction et des propriétés optiques adaptés.
Oxydes conducteurs transparents (TCO): La machine peut déposer des TCO avec des compositions d'alliages spécifiques, qui sont utilisés dans les affichages, les écrans tactiles et les appareils photovoltaïques.
Stockage magnétique et spintronique:
Films en alliage magnétique: La coucheuse est utilisée pour déposer des films d'alliage magnétiques, tels que ceux utilisés dans les disques durs et les mémoires vives magnétiques (MRAM). La capacité de contrôler la composition des alliages magnétiques est cruciale pour optimiser les performances de ces dispositifs.
Dispositifs spintroniques: En spintronique, les couches minces d'alliages aux propriétés magnétiques spécifiques sont essentielles. Un système à trois cibles permet d'ajuster précisément ces propriétés en ajustant la composition des alliages déposés.
Stockage et conversion d'énergie:
Composants de batterie et de pile à combustible: La machine est utilisée pour déposer des films minces destinés aux dispositifs de stockage d'énergie, tels que les batteries et les piles à combustible. Les films minces d'alliage peuvent être adaptés pour être utilisés comme matériaux d'électrode, revêtements protecteurs ou couches catalytiques.
Cellules solaires à couches minces: Dans la production de cellules solaires à couches minces, la coucheuse à trois cibles est utilisée pour déposer des couches d'alliage complexes qui servent de matériaux absorbants ou de couches tampons, améliorant ainsi l'efficacité et la stabilité des cellules solaires.
Revêtements résistants à l'usure et protecteurs:
Revêtements en alliage dur: La coucheuse est utilisée pour déposer des revêtements d'alliages durs, tels que ceux combinant des éléments comme le titane, l'aluminium et le chrome. Ces revêtements sont appliqués sur les outils, les moules et les composants mécaniques pour améliorer la résistance à l'usure et prolonger la durée de vie.
Couches résistantes à la corrosion: Les films minces d'alliage qui offrent une résistance à la corrosion sont utilisés dans diverses applications industrielles, notamment les environnements aérospatiaux, automobiles et marins.
Revêtements décoratifs et fonctionnels:
Revêtements esthétiques: La machine peut être utilisée pour créer des revêtements décoratifs avec des compositions d'alliage qui offrent à la fois un attrait visuel et des propriétés fonctionnelles, telles que la résistance aux rayures ou la conductivité, pour l'électronique grand public, les bijoux et les garnitures automobiles.
Couches fonctionnelles dans l'architecture: Les revêtements d'alliage sur le verre architectural peuvent offrir une efficacité énergétique, une protection UV et d'autres avantages fonctionnels tout en contribuant également à l'apparence esthétique des bâtiments.
Recherche et développement:
Science des matériaux et nanotechnologie: Le système à trois cibles est largement utilisé en R&D pour explorer de nouveaux matériaux et développer de nouvelles compositions d'alliages avec des propriétés adaptées à des applications spécifiques. Il est particulièrement utile pour étudier les relations entre la composition, la structure et les performances des films minces.
Prototypage et expérimentation: Les chercheurs utilisent la machine pour prototyper de nouveaux dispositifs et matériaux, en expérimentant différentes combinaisons d'alliages et conditions de dépôt pour obtenir les résultats souhaités.
Films supraconducteurs:
Recherche sur les supraconducteurs: La machine est utilisée pour déposer des films d'alliages supraconducteurs, tels que ceux à base de niobium-étain (Nb₃Sn) ou d'autres supraconducteurs haute température. Ces films sont essentiels à la recherche et aux applications impliquant la supraconductivité.
Applications biomédicales:
Revêtements biocompatibles: Des films minces en alliage sont utilisés pour créer des revêtements biocompatibles sur les implants et dispositifs médicaux. Le système à trois cibles permet un contrôle précis de la composition de l’alliage pour obtenir les propriétés biologiques et mécaniques souhaitées.
Dans l’ensemble, une coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles pour films minces d’alliage offre une formidable polyvalence, permettant le développement de matériaux complexes avec des compositions et des propriétés spécifiques. Il s'agit d'un outil essentiel dans des secteurs allant de l'électronique et de l'énergie aux soins de santé et à la recherche avancée.
