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Revêtement de pulvérisation magnétron à trois cibles en acier inoxydable, avec jauge d'épaisseur de Film pour Film d'oxyde d'étain d'indium ITO

Le revêtement par pulvérisation magnétron à trois cibles peut être utilisé pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films d'alliage, des films semi-conducteurs, des films céramiques, des films diélectriques, des films optiques, des films d'oxyde, des films durs, des films PTFE.
État de disponibilité:
Quantité:
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  • CY-MSP325S-2DC-1RF

  • TN

La coucheuse de pulvérisation magnétron en acier inoxydable à trois cibles est équipée d'une chambre en acier inoxydable et de trois cibles de pulvérisation magnétron, permettant un dépôt efficace et précis des matériaux.L'enduction comprend également une jauge d'épaisseur de film, garantissant un contrôle précis de l'épaisseur du film pendant le processus de revêtement.


Grâce à sa technologie avancée de pulvérisation magnétron, cette coucheuse est capable de produire des films minces de haute qualité avec une excellente adhérence et uniformité.La chambre en acier inoxydable offre un environnement propre et stable pour le dépôt du film, minimisant ainsi la contamination et garantissant des résultats cohérents.


Que vous ayez besoin de préparer des films minces d'ITO (oxyde d'étain d'indium) ou d'autres films fonctionnels, cette coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est une solution fiable et polyvalente.Son interface conviviale et ses commandes intuitives le rendent facile à utiliser, même pour les utilisateurs ayant une expérience limitée.


La coucheuse est conçue avec des composants de qualité professionnelle et conçue pour résister à une utilisation continue en laboratoire ou dans un environnement de production.Sa construction robuste et ses performances fiables garantissent une durabilité à long terme et des besoins d'entretien minimes.


Investissez dans la coucheuse par pulvérisation magnétron en acier inoxydable à trois cibles avec jauge d'épaisseur de film pour ITO Indium T et bénéficiez d'un dépôt de film efficace et précis pour une large gamme d'applications.Avec ses fonctionnalités de qualité professionnelle et sa conception conviviale, cette coucheuse est le choix idéal pour les chercheurs, les ingénieurs et les fabricants à la recherche de revêtements en couches minces de haute qualité.


Étape d'échantillonnage

Taille

Dia.140mm

Température de chauffage

Maximum 500 ℃

Précision de la température

±1 ℃

Vitesse rotationnelle

1-20 tr/min réglable

Tête de pulvérisation magnétron

Quantité

2'×3 (1',2' en option)

Mode refroidissement

Eau froide

Refroidisseur d'eau

Refroidisseur d'eau à circulation avec un débit de 10L/min

Chambre à vide

Taille de la chambre

Diamètre 300 mm × 300 mm

Matériau de la chambre

Acier inoxydable

Fenêtre de montre

Dia.100mm

Mode d'ouverture

Capot supérieur ouvert

Débitmètre massique

2 canaux ;plage de mesure 100SCCM ;100SCCM (peut être personnalisé selon les besoins du client)

Système de vide

Modèle

TN-GZK103-A

Pompe moléculaire

TN-600

Pompe de support

Pompe à palettes

Vide ultime

1,0E-5Pa

Interface de pompage

CF160

Interface d'échappement

KF40

Mesure du vide

Jauge à vide composée

Source de courant

CA ; 220 V   50/60Hz

Taux de pompage

Pompe moléculaire : 600 L/S Pompe à palettes rotatives : 1,1 L/S  

Performances complètes de pompage de gaz : vide jusqu'à 1,0E-3Pa en 20 minutes

Configuration de l'alimentation

Quantité

Alimentation CC x2

Alimentation RF x1

Puissance de sortie maximale

CC 500 W, RF 500 W

Autres paramètres

Tension d'alimentation

AC220V, 50Hz

Pouvoir total

4KW

Taille globale

600 mm × 650 mm × 1200 mm

Poids total

Environ 350kg


sur: 
En vertu d'un: 
DEMANDE DE PRODUIT
Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Qui est un fabricant spécialisé dans la production d'instruments scientifiques de laboratoire.Nos produits sont largement utilisés dans les collèges, les instituts de recherche et les laboratoires.

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