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Machine de pulvérisation magnétron à trois cibles DC, avec chambre en acier inoxydable sous vide poussé pour film PTFE

L'équipement peut être utilisé dans la préparation de films ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films conducteurs, de films d'alliage, de films semi-conducteurs, de films céramiques, de films diélectriques, de films optiques, de films d'oxyde, de films durs, de films PTFE, etc.Par rapport à un équipement similaire, la coucheuse magnétron à trois cibles est non seulement largement utilisée, mais présente également les avantages d'un petit volume et d'une utilisation facile.C'est un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-MSP300S-2DC1RF

  • TN

Présentation de la coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles DC avec chambre en acier inoxydable sous vide poussé, la solution ultime pour la préparation de film de précision.Conçue pour les professionnels du domaine, cette coucheuse de pointe offre des performances et une fiabilité inégalées.


Ce système avancé est spécialement conçu pour le dépôt de divers films, notamment un film ferroélectrique monocouche ou multicouche, un film conducteur, un film d'alliage, un film semi-conducteur, un film céramique, un film diélectrique, un film optique, un film d'oxyde, un film dur et un film PTFE.Grâce à ses capacités polyvalentes, il s’adresse à un large éventail d’applications, ce qui en fait un outil indispensable aussi bien pour les chercheurs que pour les experts de l’industrie.


Dotée d'une chambre en acier inoxydable sous vide poussé, cette coucheuse garantit un environnement impeccable pour le dépôt du film, minimisant la contamination et maximisant la qualité du film.La construction robuste de la chambre garantit une excellente durabilité, permettant un fonctionnement ininterrompu à long terme.


Équipée de la technologie de pulvérisation magnétron, cette coucheuse permet un dépôt de film précis et uniforme, garantissant un contrôle et une uniformité exceptionnels de l’épaisseur du film.Cela permet aux chercheurs d’obtenir des résultats cohérents et reproductibles, essentiels à une analyse et une expérimentation précises.


Le dispositif de pulvérisation magnétron à trois cibles DC est conçu dans un souci de convivialité.Son interface intuitive et ses commandes faciles à utiliser rendent l'utilisation un jeu d'enfant, même pour ceux qui découvrent la technologie.De plus, sa taille compacte et sa conception efficace optimisent l’utilisation de l’espace, ce qui en fait un atout précieux dans tout laboratoire ou installation de production.


Investissez dès aujourd’hui dans la coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles DC avec chambre en acier inoxydable sous vide poussé et débloquez un monde de possibilités en matière de préparation de film.Faites l’expérience d’une précision, d’une fiabilité et d’une polyvalence inégalées et propulsez votre recherche ou votre production vers de nouveaux sommets.Faites confiance à notre équipement de qualité professionnelle pour obtenir des résultats exceptionnels à chaque fois.

Trois paramètres techniques cibles de la coucheuse de pulvérisation magnétron :


Nom du produit

Coucheuse de pulvérisation magnétron à trois cibles DC

Modèle du produit

TN-MSP300S-2DC1RF

Alimentation de pulvérisation

Installé deux alimentations CC

Puissance CC : 500 W  

Chambre à vide

Chambre à vide : 450 mm de diamètre x 450 mm de hauteur, fenêtre d'observation en acier inoxydable : 100 mm de diamètre

Tête de pulvérisation magnétron

L'instrument est équipé de   trois pistolets cibles de pulvérisation magnétron cible de 3 pouces (dont l'un est un puissant   cible magnétique et deux cibles à aimant permanent), et toutes sont refroidies à l'eau   couche intermédiaire, qui peut être refroidie par de l'eau de refroidissement pour cibler le matériau

Le tableau exemple

La taille de la table d'échantillon : 150 mm de diamètre (la table d'échantillon peut tourner, avec une vitesse réglable   plage : 1-20 tr/min)

La température de chauffage maximale de la table d'échantillons est de 750 ℃ ​​et la précision du contrôle de la température est de +/- 1,0 °C.

Contrôleur de débit de gaz

Un débitmètre massique est installé à l'intérieur de l'instrument

Plage : 0-200 sccm (argon)

Le débit de gaz peut être réglé dans un système de contrôle intelligent à écran de 15,6 pouces

Pompe à vide

Equipé d'un ensemble de molécules   Système de pompe, utilisant une opération en un clic600L/S

Jauge à vide

Vacuomètre EF Kompirani MPG400  

Plage de mesure : 5 x 10-9 mbar -- Pression atmosphérique

Jauge d'épaisseur de film

La jauge d'épaisseur de film vibrant à quartz est montée sur l'équipement   et peut surveiller l'épaisseur du film en temps réel avec une résolution de 0,1A.

Tension

220 V 50 Hz

Remarques

1.trois cibles de pulvérisation de 3 pouces (une cible magnétique forte et deux cibles permanentes   cibles magnétiques)

2.un débitmètre

3. chambre à vide en acier inoxydable

4. groupe de pompe moléculaire

5. jauge d'épaisseur de film

6. Deux alimentations CC et une alimentation RF

7.unité de refroidissement de l'eau

8.avec table d'échantillons de chauffage rotatif

Système de contrôle intelligent avec écran de 9,15,6 pouces

10.compresseur d'air

11.vanne pneumatique à commande électrique

12.vanne d'arrêt à commande électrique

13.vanne de pompage latérale pneumatique à commande électrique

14. Jauge à vide EF Kang plage de mesure MPG 400


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Qui est un fabricant spécialisé dans la production d'instruments scientifiques de laboratoire.Nos produits sont largement utilisés dans les collèges, les instituts de recherche et les laboratoires.

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