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Machine de pulvérisation magnétron à trois cibles de 3 pouces, avec chambre en acier inoxydable à vide poussé pour film PTFE

Le revêtement magnétron à trois cibles peut être utilisé dans la préparation de films ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films conducteurs, de films d'alliage, de films semi-conducteurs, de films céramiques, de films diélectriques, de films optiques, de films d'oxyde, de films durs, de films PTFE, etc.Par rapport à un équipement similaire, la coucheuse magnétron à trois cibles est non seulement largement utilisée, mais présente également les avantages d'un petit volume et d'une utilisation facile.C'est un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-MSP300S-2DC1RF

  • TN

Présentation de notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles - la solution parfaite pour tous vos besoins de préparation de film.Cette coucheuse de qualité professionnelle est conçue pour offrir des performances et une précision exceptionnelles, ce qui en fait un outil indispensable pour les chercheurs, les scientifiques et les ingénieurs.


Grâce à sa technologie avancée, notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles permet la préparation de films monocouches ou multicouches en toute simplicité.Que vous travailliez sur des films ferroélectriques, des films conducteurs, des films d'alliage, des films semi-conducteurs, des films céramiques, des films diélectriques, des films optiques, des films d'oxyde, des films durs ou des films PTFE, cette coucheuse est là pour vous.


Doté de trois cibles, ce coucheur permet le dépôt simultané de plusieurs matériaux, ce qui vous fait gagner du temps et des efforts.Le processus de pulvérisation magnétron garantit un dépôt de film uniforme et contrôlé, ce qui donne des résultats reproductibles et de haute qualité.


Notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles est équipée de fonctionnalités de pointe pour améliorer votre productivité et votre efficacité.L'interface conviviale et les commandes intuitives facilitent l'utilisation, même pour ceux qui découvrent la technologie de pulvérisation.De plus, la coucheuse bénéficie d'une construction robuste et de performances fiables, garantissant une durabilité durable et un rendement constant.


Investissez dès aujourd’hui dans notre coucheuse par pulvérisation magnétron à trois cibles et débloquez des possibilités infinies en matière de préparation de film.Découvrez la puissance de la technologie avancée et de la précision, soutenue par notre engagement à fournir des équipements de qualité professionnelle.Amenez votre recherche et développement vers de nouveaux sommets avec notre coucheuse fiable et polyvalente.

Trois paramètres techniques cibles de la coucheuse de pulvérisation magnétron :

Nom du produit

Machine de pulvérisation magnétron à trois cibles --- position inférieure de la cible   pistolet (interface d'opération en anglais)

Modèle du produit

TN-MSP300S-2DC1RF

Alimentation de pulvérisation

Installation de deux alimentations CC et d'une alimentation RF

Puissance CC : 500 W  Puissance RF : 300 W

Chambre à vide

Chambre à vide : 450 mm de diamètre x 450 mm de hauteur, fenêtre d'observation en acier inoxydable : 100 mm de diamètre

Tête de pulvérisation magnétron

L'instrument est équipé de   trois pistolets cibles de pulvérisation magnétron cible de 3 pouces (dont l'un est un puissant   cible magnétique et deux cibles à aimant permanent), et toutes sont refroidies à l'eau   couche intermédiaire, qui peut être refroidie par de l'eau de refroidissement pour cibler le matériau

Le tableau exemple

La taille de la table d'échantillon : 150 mm de diamètre (la table d'échantillon peut tourner, avec une vitesse réglable   plage : 1-20 tr/min)

La température de chauffage maximale de la table d'échantillons est de 750 ℃ ​​et la précision du contrôle de la température est de +/- 1,0 °C.

Contrôleur de débit de gaz

Un débitmètre massique est installé à l'intérieur de l'instrument

Plage : 0-200 sccm (argon)

Le débit de gaz peut être réglé dans un système de contrôle intelligent à écran de 15,6 pouces

Pompe à vide

Equipé d'un ensemble de molécules   Système de pompe, utilisant une opération en un clic600L/S

Jauge à vide

Vacuomètre EF Kompirani MPG400  

Plage de mesure : 5 x 10-9 mbar -- Pression atmosphérique

Jauge d'épaisseur de film

La jauge d'épaisseur de film vibrant à quartz est montée sur l'équipement   et peut surveiller l'épaisseur du film en temps réel avec une résolution de 0,1A.

Tension

220 V 50 Hz

Remarques

1.trois cibles de pulvérisation de 3 pouces (une cible magnétique forte et deux cibles permanentes   cibles magnétiques)

2.un débitmètre

3. chambre à vide en acier inoxydable

4. groupe de pompe moléculaire

5. jauge d'épaisseur de film

6. Deux alimentations CC et une alimentation RF

7.unité de refroidissement de l'eau

8.avec table d'échantillons de chauffage rotatif

Système de contrôle intelligent avec écran de 9,15,6 pouces

10.compresseur d'air

11.vanne pneumatique à commande électrique

12.vanne d'arrêt à commande électrique

13.vanne de pompage latérale pneumatique à commande électrique

14. Jauge à vide EF Kang plage de mesure MPG 400



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