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Machine de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau avec table d'échantillons alternative pour le revêtement d'une ou plusieurs couches de film

La machine de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau peut être utilisée pour préparer des films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, des films conducteurs, des films d'alliage, etc.Par rapport à un équipement similaire, la coucheuse par pulvérisation magnétron à double cible est non seulement largement utilisée, mais présente également les avantages d'une petite taille et d'une utilisation facile, et constitue un équipement idéal pour préparer des films de matériaux en laboratoire.
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-MSP300S-DCRF

  • TN

L'appareil de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau avec table d'échantillons alternative est un outil très efficace et polyvalent pour le revêtement de films minces ferroélectriques monocouches ou multicouches, de films conducteurs et de films d'alliage.


Cette coucheuse de qualité professionnelle est conçue pour offrir des performances et une précision exceptionnelles dans un format de bureau compact.Grâce à sa technologie avancée de pulvérisation magnétron, il offre une méthode fiable et efficace pour déposer des films minces sur une variété de substrats.


La table d'échantillons alternative assure une répartition uniforme du revêtement et permet un contrôle précis du processus de dépôt.Cette fonctionnalité est particulièrement utile lors du revêtement d’échantillons uniques, car elle garantit des résultats cohérents sur toute la surface.


Que vous meniez des recherches, développiez de nouveaux matériaux ou fabriquiez des appareils électroniques, cette coucheuse de bureau est un outil essentiel pour votre laboratoire ou votre installation de production.Son interface conviviale et ses commandes intuitives le rendent facile à utiliser, tandis que sa construction robuste garantit des performances durables.


Investissez dans l'appareil de pulvérisation magnétron à cible unique de bureau avec table d'échantillons à mouvement alternatif et découvrez les avantages des revêtements en couches minces de haute qualité.Obtenez une adhérence supérieure du film, une excellente uniformité et un contrôle précis de l’épaisseur du film.Améliorez vos capacités de revêtement avec cette coucheuse par pulvérisation magnétron de qualité professionnelle.

Paramètres techniques de la coucheuse de pulvérisation magnétron à cible unique :

Table d'échantillons à mouvement alternatif

taille

50*100mm

Réciproque   vitesse

0 ~ 50 mm/s

Pistolet cible magnétron

Cible   avion

Cible plate circulaire

Pulvérisation   vide

10 Pa ~ 0,2 Pa

Cible   diamètre

5 centimètres

Cible   épaisseur

Recommandé 2 ~ 5 mm

Cible   température

≦65℃

Chambre à vide

Cavité   taille

À propos   Φ180 mm × H 215 mm

Cavité   matériel

Haut   quartz de pureté

Observation   fenêtre

Omnidirectionnel   transparence

Ouverture   méthode

Amovible   le couvercle supérieur

source de courant

CC   source de courant

150W maximum

Quantité

1

Système de pompe moléculaire

Première ligne   pompe



Rotatif   Pompe à palettes

VRD-4

Pompage   vitesse

1,1L/S

Ultime   vide

5*10-1Pennsylvanie

Moléculaire   pompe

Moléculaire   vitesse de pompage

600 L/S

Noté   vitesse

24 000 tr/min

Ultime   vide

5*10-5Pennsylvanie

Vibration   valeur

≦0,1um

Commencer   Time

≦4,5min

Temps d'arrêt

<7min

refroidissement   méthode

Refroidissement par eau + refroidissement par air

Refroidisseur d'eau

Refroidissement   la température de l'eau

≦37℃

Refroidissement   Débit d'eau

10L/min

Tension d'alimentation

AC220V 50Hz


sur: 
En vertu d'un: 
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