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TN-EVP180G-1S-G
TN
Cette petite coucheuse par évaporation de bureau est équipé d'une chambre de quartz de pureté, garantissant un dépôt de film de haute qualité et une excellente uniformité.Cette coucheuse compacte par évaporation thermique est spécialement conçue pour les applications de type boîte à gants, offrant un environnement contrôlé et sans contamination.Sa petite taille permet une intégration facile dans les configurations existantes, économisant ainsi un espace précieux en laboratoire.Avec son interface professionnelle et conviviale, cette coucheuse offre un contrôle précis des paramètres de dépôt, tels que la température, la vitesse de dépôt et l'épaisseur du film.Le système de chauffage avancé assure un chauffage rapide et uniforme de l’échantillon, ce qui permet un dépôt efficace du film.Que vous travailliez en recherche et développement ou en production industrielle, cette petite coucheuse par évaporation thermique est le choix idéal pour vos besoins de dépôt de film.
Produit Nom | petit coucheuse par évaporation thermique pour type boîte à gants |
Produit Modèle | TN-EVP180G-1S-G(G signifie boîte à gants) |
Conditions d'installation | 1、Fonctionne température ambiante : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité : 55 % RH ± 10 % RH ; 2、Équipement Alimentation: AC220V, 50Hz, doit être bien ancré ; 3、Évalué puissance : 1200 W ; 4、Équipement pour le gaz : la chambre de l'équipement doit être remplie d'argon gaz pour le nettoyage.Le client doit préparer du gaz argon avec une pureté ≥99,99 %. 5、Tableau exigences de taille : 580 mm × 250 mm × 330 mm, roulement capacité ≥ 30 kg ; 6、Le La position doit être bien ventilée et refroidie. |
Indicateurs techniques | 1、Source d'évaporation tension : 10 V 2、 Courant d'évaporation est réglable en continu de 0 à 100A 3、 Avec un bateau en tungstène, un panier en tungstène; 4、 acier inoxydable table d'échantillons, diamètre de 60 mm ; 5、 La distance entre la plateforme d'échantillonnage et la source d'évaporation est réglable de 20 à 55 mm ; 6、 La cavité sous vide est un cavité en quartz d'un diamètre de 180 mm et d'une hauteur de 100 mm ;; 7、Interface de pompage d'air de la chambre à vide est KF16 8、 L'interface d'admission d'air est Joint à double virole de 1/4 pouces 9、 L'écran tactile est de 7 pouces écran tactile couleur 10、 Pulvérisation réglable courant, pulvérisation la valeur du courant de sécurité et la valeur du vide de sécurité peuvent être définies ; 11、 Protection de sécurité: surintensité, le vide est trop faible coupe automatiquement le courant de pulvérisation 12、 Vide ultime : 5E-4Pa (correspondant pompe moléculaire) ; 13、 La mesure du vide est Jauge à vide Parana, le la plage est de 1 à 105Pennsylvanie |
Avis | 1. Pour les matériaux qui sont sensibles à l'oxygène, il est recommandé d'ajouter un groupe de pompe moléculaire. 2、Afin d'atteindre un environnement sans oxygène élevé, la chambre à vide doit être nettoyée au moins 3 fois avec un gaz inerte de haute pureté. |
Facultatif accessoire | |
Film épaisseur Moniteur | 1. Épaisseur du film résolution : 0,0136Å (aluminium) 2、Précision du film épaisseur : ± 0,5 %, cela dépend des conditions du processus, en particulier du capteur position, contrainte du matériau, température et densité 3. Vitesse de mesure : 100 ms à 1 s par fois, la plage de mesure peut être définie : 500 000Å (aluminium). 4. Capteur standard cristal: 6 MHz 5. Convient pour fréquence de la plaquette : 6 MHz adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm bride de montage:CF35 |
Un autre accessoire | 1, bateau en tungstène, tungstène panier; 2、Évaporation organique source (y compris la source de chauffage en bateau à quartz et en fil de tungstène) 3, série TN-CZK103 élevée Ensemble de pompe moléculaire performant (y compris jauge à vide composite, mesure plage 10-5Pa ~ 105Pa); Petit ensemble de pompes moléculaires série TN-GZK60 (comprenant jauge à vide composite, plage de mesure 10-5Pa ~ 102Pa) Palette rotative bipolaire VRD-4 pompe à vide 4、KF40 Soufflet à vide ;La longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 m.Support de serrage KF40 ; 5、Cinéma oscillateur à cristal de mesure d'épaisseur; |
Cette petite coucheuse par évaporation de bureau est équipé d'une chambre de quartz de pureté, garantissant un dépôt de film de haute qualité et une excellente uniformité.Cette coucheuse compacte par évaporation thermique est spécialement conçue pour les applications de type boîte à gants, offrant un environnement contrôlé et sans contamination.Sa petite taille permet une intégration facile dans les configurations existantes, économisant ainsi un espace précieux en laboratoire.Avec son interface professionnelle et conviviale, cette coucheuse offre un contrôle précis des paramètres de dépôt, tels que la température, la vitesse de dépôt et l'épaisseur du film.Le système de chauffage avancé assure un chauffage rapide et uniforme de l’échantillon, ce qui permet un dépôt efficace du film.Que vous travailliez en recherche et développement ou en production industrielle, cette petite coucheuse par évaporation thermique est le choix idéal pour vos besoins de dépôt de film.
Produit Nom | petit coucheuse par évaporation thermique pour type boîte à gants |
Produit Modèle | TN-EVP180G-1S-G(G signifie boîte à gants) |
Conditions d'installation | 1、Fonctionne température ambiante : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité : 55 % RH ± 10 % RH ; 2、Équipement Alimentation: AC220V, 50Hz, doit être bien ancré ; 3、Évalué puissance : 1200 W ; 4、Équipement pour le gaz : la chambre de l'équipement doit être remplie d'argon gaz pour le nettoyage.Le client doit préparer du gaz argon avec une pureté ≥99,99 %. 5、Tableau exigences de taille : 580 mm × 250 mm × 330 mm, roulement capacité ≥ 30 kg ; 6、Le La position doit être bien ventilée et refroidie. |
Indicateurs techniques | 1、Source d'évaporation tension : 10 V 2、 Courant d'évaporation est réglable en continu de 0 à 100A 3、 Avec un bateau en tungstène, un panier en tungstène; 4、 acier inoxydable table d'échantillons, diamètre de 60 mm ; 5、 La distance entre la plateforme d'échantillonnage et la source d'évaporation est réglable de 20 à 55 mm ; 6、 La cavité sous vide est un cavité en quartz d'un diamètre de 180 mm et d'une hauteur de 100 mm ;; 7、Interface de pompage d'air de la chambre à vide est KF16 8、 L'interface d'admission d'air est Joint à double virole de 1/4 pouces 9、 L'écran tactile est de 7 pouces écran tactile couleur 10、 Pulvérisation réglable courant, pulvérisation la valeur du courant de sécurité et la valeur du vide de sécurité peuvent être définies ; 11、 Protection de sécurité: surintensité, le vide est trop faible coupe automatiquement le courant de pulvérisation 12、 Vide ultime : 5E-4Pa (correspondant pompe moléculaire) ; 13、 La mesure du vide est Jauge à vide Parana, le la plage est de 1 à 105Pennsylvanie |
Avis | 1. Pour les matériaux qui sont sensibles à l'oxygène, il est recommandé d'ajouter un groupe de pompe moléculaire. 2、Afin d'atteindre un environnement sans oxygène élevé, la chambre à vide doit être nettoyée au moins 3 fois avec un gaz inerte de haute pureté. |
Facultatif accessoire | |
Film épaisseur Moniteur | 1. Épaisseur du film résolution : 0,0136Å (aluminium) 2、Précision du film épaisseur : ± 0,5 %, cela dépend des conditions du processus, en particulier du capteur position, contrainte du matériau, température et densité 3. Vitesse de mesure : 100 ms à 1 s par fois, la plage de mesure peut être définie : 500 000Å (aluminium). 4. Capteur standard cristal: 6 MHz 5. Convient pour fréquence de la plaquette : 6 MHz adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm bride de montage:CF35 |
Un autre accessoire | 1, bateau en tungstène, tungstène panier; 2、Évaporation organique source (y compris la source de chauffage en bateau à quartz et en fil de tungstène) 3, série TN-CZK103 élevée Ensemble de pompe moléculaire performant (y compris jauge à vide composite, mesure plage 10-5Pa ~ 105Pa); Petit ensemble de pompes moléculaires série TN-GZK60 (comprenant jauge à vide composite, plage de mesure 10-5Pa ~ 102Pa) Palette rotative bipolaire VRD-4 pompe à vide 4、KF40 Soufflet à vide ;La longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 m.Support de serrage KF40 ; 5、Cinéma oscillateur à cristal de mesure d'épaisseur; |