Machine de revêtement par évaporation thermique de bureau, avec plate-forme d'échantillon de levage électrique, dépôt de Film métallique

modèle du produit

TN-EVP195S-1S-LT （T signifie grand réservoir ； L signifie   ascenseur)

Conditions d'installation

1、Fonctionne   température ambiante : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité : 55 % RH ± 10 % RH ;

2、Puissance de l'équipement   alimentation : AC220V, 50 Hz, doit être bien mis à la terre ;

3. Puissance nominale : 2500 w ;

4、Équipement pour   gaz ：L'équipement   La chambre doit être remplie de gaz argon pour le nettoyage.Le client doit   préparer du gaz argon avec une pureté ≥99,99 %.

5、Taille du tableau   exigences : 600 mm × 600 mm × 700 mm ， capacité portante ≥ 70 kg ；

6、Le poste devrait   être bien ventilé et refroidi.

Indicateurs techniques

1,  Nombre de sources d'évaporation : 2 chacune   la source d'évaporation est équipée d'un déflecteur ;

2. Tension de la source d'évaporation : 10 V

3、 Le courant d'évaporation est réglable en continu   de 0 à 100A

4. Avec 1 bateau en tungstène, 1 panier en tungstène ;

5. Plate-forme d'échantillonnage de levage électrique en acier inoxydable,   le diamètre est de 100 mm, la vitesse de rotation de 1 à 20 tr/min est réglable en continu ;

6、 Distance entre l'échantillon et l'évaporation   la source est réglable en continu de 190 à 300 mm et peut également être ajustée   de haut en bas sous vide ;

7、 La cavité sous vide est une cavité en acier inoxydable avec   un diamètre extérieur de 195mm,  un   diamètre intérieur 185 mm et hauteur 350 mm ;

8、Le haut   le couvercle est scellé avec une bride ISO pour un démontage et une inspection faciles ;

9、 La cavité est dotée d'une porte d'entrée et d'un   fenêtre d'observation en quartz avec déflecteur ; taille   deφ60mm

10、 L'interface de pompage d'air de la chambre à vide est   40 KF ;

11. L'interface d'admission d'air est à double virole de 1/4 de pouce   Joint, une vanne de réglage fin en acier inoxydable est fournie par défaut pour   régler l'entrée d'air ;

12. L'écran tactile est un écran tactile couleur de 7 pouces ;

13. Courant de pulvérisation réglable, valeur du courant de sécurité de pulvérisation et vide de sécurité.   la valeur peut être définie ;

14、  protection de sécurité : surintensité, le vide l'est aussi   faible coupe automatiquement le courant de pulvérisation ;

15、 Vide ultime : 1 Pa (pompe à palettes rotatives à double étage assortie) ;

Avis

1. Afin de tirer pleinement parti des performances de vide de la cavité, il   Il est recommandé de l'utiliser avec un groupe de pompe moléculaire.

Accessoire en option

Film

Moniteur d'épaisseur

1. Épaisseur du film   résolution ： 0,0136Å (aluminium)

2、Précision du film   épaisseur : ± 0,5 %, cela dépend des conditions du processus, en particulier du capteur   position, contrainte du matériau, température et densité  

3. Vitesse de mesure : 100 ms à 1 s par fois, la plage de mesure peut être définie : 500 000Å (aluminium).

4. Capteur standard   cristal: 6 MHz

5. Convient pour   fréquence de la plaquette : 6 MHz

adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm

bride de montage：CF35

Un autre accessoire

1. Bateau en tungstène, panier en tungstène ;

2、 Source d'évaporation organique (y compris le bateau à quartz   et source de chauffage en fil de tungstène)

3、 Le nombre de sources d'évaporation peut être sélectionné   1 à 2 groupes ;

4. Pompe moléculaire haute performance série CY-CZK103   ensemble (y compris un manomètre composite, plage de mesure 10-5 Pa ~ 105 Pa) ;

Série CY-GZK60 petite   ensemble de pompes moléculaires (comprenant un manomètre composite, une plage de mesure   10-5Pa~102Pa)

Pompe à vide bipolaire à palettes VRD-4 ;

5. Refroidisseur d'eau à circulation CW3000 (refroidi par air, débit   débit 10L par minute)

6、 KF40 Soufflet à vide ;La longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou   1,5 m.Support de serrage KF40 ;

7. Oscillateur à cristal de mesureur d'épaisseur de film ;