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Cet instrument est un instrument de revêtement par évaporation sous vide poussé, un panier en fil de tungstène (ou un bateau en tungstène) utilisé comme source d'évaporation, et la distance entre la table d'échantillons et la source d'évaporation est réglable.L'instrument peut évaporer régulièrement les métaux et certains produits organiques.Chambre en acier inoxydable sous vide poussé, bonnes performances d'étanchéité, bonnes performances sous vide.La chambre est équipée de fenêtres de visualisation permettant de voir le processus de revêtement.Le vide ultime 10E-4Pa du système de pompe moléculaire peut améliorer efficacement la qualité du revêtement et répondre à l'environnement sous vide requis pour la plupart des expériences de revêtement par évaporation.
L'instrument de revêtement par évaporation thermique sous vide poussé utilise :
L'enduction par évaporation en bobine peut être utilisée pour la croissance de films de différents types de matériaux, de la plupart des métaux et de certains films de matières organiques, tels que les métaux, les semi-conducteurs, les oxydes, etc.
Paramètres techniques de l'instrument de revêtement par évaporation thermique sous vide poussé :
Tension d'alimentation | Monophasé, AC220V, 50Hz |
Traitement des murs intérieurs | Polissage électrolytique |
Matériau de la cavité | Acier inoxydable 304 |
Taille de la cavité | Horizontal Φ600 mm x 500 mm |
Fenêtre de visualisation | Avant φ100 mm, y compris la plaque d'ombrage |
Mode d'ouverture | Type de porte d'entrée |
Rembobinage | Φ200mmx300mm |
Vitesse | 60 m/min (réglable) |
Tension | Adjustable |
Nombre de pièces | 1 ensemble de source d'évaporation métallique avec déflecteur indépendant |
Tension d'électrode | 10V |
Vitesse d'alimentation du fil | ≤3 m/min |
Courant d'évaporation | La puissance est de 2KW, le courant maximum est de 160A et le réglage la précision est de 1A |
Évaporateur | Bateau en tungstène, 1 pièce |
Pompe avant | Pompe à palettes bipolaire, vitesse de pompage 1,1L/s |
Pompe turbomoléculaire | Vitesse de pompage : 600L/s ; Vitesse nominale : 24 000 tr/min ; Temps de démarrage : ≤4,5 min Mode de refroidissement : refroidissement par eau + refroidissement par air Interface d'admission : ISO150 Interface de sortie d'air : KF40 Vide : 5,0*10-4Pa (5,0*10-6mbar) Passer le vide à 5,0×10-3 Pa (5,0*10-5mbar) pendant moins de 40 minutes |
Vacuomètre composite | La plage de mesure est de 105 Pa ~ 10-5 Pa. |
Précision de mesure | 0,1Å |
Vitesse mesurée | 100 ms-1s/temps |
La plage de mesure peut être définie | 500 000 Å (aluminium) |
Cristal de capteur standard | 6 MHz |
Taille de cristal applicable | Φ14mm (standard avec 10 pièces) |
Compresseur d'air | Agissant sur une vanne pneumatique à commande électronique |
Refroidisseur d'eau | Température de l'eau de refroidissement : ≦37℃ Débit : 10L/min Puissance : 0,1 KW Puissance de refroidissement : 50 W/C Capacité du réservoir : 9L |
Système de contrôle | Contrôle automatique par API Interface de fonctionnement : écran tactile + panneau de commande |
Cet instrument est un instrument de revêtement par évaporation sous vide poussé, un panier en fil de tungstène (ou un bateau en tungstène) utilisé comme source d'évaporation, et la distance entre la table d'échantillons et la source d'évaporation est réglable.L'instrument peut évaporer régulièrement les métaux et certains produits organiques.Chambre en acier inoxydable sous vide poussé, bonnes performances d'étanchéité, bonnes performances sous vide.La chambre est équipée de fenêtres de visualisation permettant de voir le processus de revêtement.Le vide ultime 10E-4Pa du système de pompe moléculaire peut améliorer efficacement la qualité du revêtement et répondre à l'environnement sous vide requis pour la plupart des expériences de revêtement par évaporation.
L'instrument de revêtement par évaporation thermique sous vide poussé utilise :
L'enduction par évaporation en bobine peut être utilisée pour la croissance de films de différents types de matériaux, de la plupart des métaux et de certains films de matières organiques, tels que les métaux, les semi-conducteurs, les oxydes, etc.
Paramètres techniques de l'instrument de revêtement par évaporation thermique sous vide poussé :
Tension d'alimentation | Monophasé, AC220V, 50Hz |
Traitement des murs intérieurs | Polissage électrolytique |
Matériau de la cavité | Acier inoxydable 304 |
Taille de la cavité | Horizontal Φ600 mm x 500 mm |
Fenêtre de visualisation | Avant φ100 mm, y compris la plaque d'ombrage |
Mode d'ouverture | Type de porte d'entrée |
Rembobinage | Φ200mmx300mm |
Vitesse | 60 m/min (réglable) |
Tension | Adjustable |
Nombre de pièces | 1 ensemble de source d'évaporation métallique avec déflecteur indépendant |
Tension d'électrode | 10V |
Vitesse d'alimentation du fil | ≤3 m/min |
Courant d'évaporation | La puissance est de 2KW, le courant maximum est de 160A et le réglage la précision est de 1A |
Évaporateur | Bateau en tungstène, 1 pièce |
Pompe avant | Pompe à palettes bipolaire, vitesse de pompage 1,1L/s |
Pompe turbomoléculaire | Vitesse de pompage : 600L/s ; Vitesse nominale : 24 000 tr/min ; Temps de démarrage : ≤4,5 min Mode de refroidissement : refroidissement par eau + refroidissement par air Interface d'admission : ISO150 Interface de sortie d'air : KF40 Vide : 5,0*10-4Pa (5,0*10-6mbar) Passer le vide à 5,0×10-3 Pa (5,0*10-5mbar) pendant moins de 40 minutes |
Vacuomètre composite | La plage de mesure est de 105 Pa ~ 10-5 Pa. |
Précision de mesure | 0,1Å |
Vitesse mesurée | 100 ms-1s/temps |
La plage de mesure peut être définie | 500 000 Å (aluminium) |
Cristal de capteur standard | 6 MHz |
Taille de cristal applicable | Φ14mm (standard avec 10 pièces) |
Compresseur d'air | Agissant sur une vanne pneumatique à commande électronique |
Refroidisseur d'eau | Température de l'eau de refroidissement : ≦37℃ Débit : 10L/min Puissance : 0,1 KW Puissance de refroidissement : 50 W/C Capacité du réservoir : 9L |
Système de contrôle | Contrôle automatique par API Interface de fonctionnement : écran tactile + panneau de commande |
