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Coucheuse d'évaporation thermique de dépôt laser à impulsion PLD pour films super-réseaux

Le PLD est largement utilisé pour préparer divers matériaux en couches minces, notamment des films supraconducteurs, des films d'oxyde, des films métalliques, des films semi-conducteurs, etc.
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-PLD-450

  • TN

L'instrument de revêtement par évaporation par dépôt laser à impulsion PLD est un outil très polyvalent et efficace pour préparer une large gamme de matériaux en couches minces. Cet instrument avancé utilise la technologie de dépôt par laser pulsé pour déposer avec précision des films minces sur des substrats avec un contrôle et une précision exceptionnels.


L'une des principales caractéristiques de l'instrument de revêtement par évaporation par dépôt laser pulsé PLD est sa capacité à préparer divers types de matériaux en couches minces, notamment des films supraconducteurs, des films d'oxyde, des films métalliques, des films semi-conducteurs, etc. Cela en fait un choix idéal pour les chercheurs et les scientifiques travaillant dans divers domaines, de la science des matériaux à l'électronique.


Grâce à sa technologie avancée et à ses capacités de dépôt précises, l'instrument de revêtement par évaporation par dépôt laser pulsé PLD offre des performances et une fiabilité inégalées. Son interface conviviale et ses commandes intuitives le rendent facile à utiliser, tandis que sa construction robuste garantit une durabilité à long terme.


Que vous meniez des recherches en laboratoire ou que vous développiez de nouveaux matériaux pour des applications industrielles, l'instrument de revêtement par évaporation par dépôt laser pulsé PLD est un outil précieux qui peut vous aider à atteindre vos objectifs avec précision et efficacité. Investissez dès aujourd’hui dans cet instrument de pointe et faites passer vos capacités de dépôt de couches minces au niveau supérieur.


Paramètres techniques de dépôt laser à impulsion en laboratoire :


Nom du produit

Évaporation par dépôt laser à impulsion PLD   instrument de revêtement

Modèle de produit

TN-PLD-450

Système de vide principal

Structure de la sphère, taille : dia. 450mm

Chargement d'un exemple de système

Structure cylindrique verticale, taille : dia.   150×150mm

Configuration du système de vide

Chambre à vide principale

Pompe mécanique, pompe moléculaire, vanne

Chargement d'un exemple de système

Pompe mécanique et moléculaire   pompe (partage avec chambre primaire), vanne

Pression ultime

Système de vide principal

≤6*10-6Pa (après cuisson et dégazage)

Chargement d'un exemple de système

≤6*10-3 Pa(après cuisson et dégazage)

Récupération sous vide  système

Système de vide principal

Il peut atteindre 5x10-3Pa en 20 minutes (le   Le système est exposé à l'atmosphère pendant une courte période et   rempli de   azote sec pour commencer le pompage)

Chargement de l'échantillon   système

Il peut atteindre 5x10-3Pa en 20 minutes (le   Le système est exposé à l'atmosphère pendant une courte période et   rempli de   azote sec pour commencer le pompage)

Plateforme cible rotative

La taille maximale de la cible est d'environ   60mm. Quatre matériaux cibles peuvent être installés en même temps, la cible changeant   mouvement de révolution; chaque cible peut tourner indépendamment, vitesse de rotation : 5-60   tr/min

Plateforme de chauffage de substrat

Taille de l'échantillon

Dia. 51

Mode de mouvement

Le substrat tourne en continu, rotation   vitesse: 5-60 tr/min

Température de chauffage

Température maximale de chauffage du substrat :   800 ℃ ± 1 ℃, contrôlé et réglable

Système de circuit de gaz

Régulateur de débit massique à 1 circuit, 1 circuit   valve de gonflage

Accessoires en option

Appareil laser

Compatible avec le laser cohérent 201

Appareil de balayage à faisceau laser

Plateforme mécanique de scanning 2D, effectuer   balayage à deux degrés de liberté.

Système de contrôle informatique

Le contenu du contrôle comprend des éléments communs   cible de conversion, rotation de la cible, rotation de l'échantillon, température de l'échantillon   contrôle, balayage du faisceau laser, etc.

Espace au sol

Unité principale

1800*1800mm2

Armoire électrique

700 *700mm2 (un)


sur: 
En vertu d'un: 
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Qui est un fabricant spécialisé dans la production d'instruments scientifiques de laboratoire.Nos produits sont largement utilisés dans les collèges, les instituts de recherche et les laboratoires.

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