Machine de revêtement par évaporation thermique de bureau avec cavité en quartz pour préparer divers films conducteurs

modèle du produit

TN-EVP180G-1S-A

Conditions d'installation

1、Fonctionne   température ambiante : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité : 55 % RH ± 10 % RH ;

2、Puissance de l'équipement   alimentation : AC220V, 50 Hz, doit être bien mis à la terre ;

3. Puissance nominale : 1 200 W ;

4、Équipement pour   gaz ：L'équipement   La chambre doit être remplie de gaz argon pour le nettoyage.Le client doit   préparer du gaz argon avec une pureté ≥99,99 %.

5、Taille du tableau   exigences : 600 mm × 600 mm × 700 mm ， capacité portante ≥ 50 kg ；

6、Le poste   doit être bien ventilé et refroidi.

Indicateurs techniques

1. Tension de la source d'évaporation : 10 V

2、 Le courant d'évaporation est réglable en continu   de 0 à 100A

3、 Avec un bateau en tungstène, un panier en tungstène ;

4、  Table d'échantillonnage supérieure rotative en acier inoxydable,   diamètre de 60 mm ;

5、  La distance entre la plate-forme d'échantillonnage et   la source d'évaporation est réglable de 60 à 100 mm ;

6、 La cavité sous vide est une cavité en quartz d'un diamètre   de 180 mm et une hauteur de 200 mm ;；

7、 L'interface de pompage d'air de la chambre à vide est   KF25

8. L'interface d'admission d'air est à double virole de 1/4 de pouce   articulation

9. L'écran tactile est un écran tactile couleur de 7 pouces

10. Courant de pulvérisation réglable, valeur du courant de sécurité de pulvérisation et vide de sécurité.   la valeur peut être définie ;

11、  protection de sécurité : surintensité, le vide l'est aussi   faible coupe automatiquement le courant de pulvérisation

12、 Vide ultime : 5E-4Pa (pompe moléculaire correspondante) ;

13. La mesure du vide est une jauge à vide Parana, la plage est : 1 ~ 105 Pa

Avis

1. Pour les matériaux qui   sont sensibles à l'oxygène, il est recommandé d'ajouter un groupe de pompe moléculaire.

2、Afin d'atteindre un   environnement sans oxygène élevé, la chambre à vide doit être nettoyée au moins 3   fois avec un gaz inerte de haute pureté.

Facultatif   accessoire

Film

épaisseur   Moniteur

1. Résolution de l'épaisseur du film : 0,0136Å (aluminium).

2、Précision du film   épaisseur : ± 0,5 %, cela dépend du processus   conditions, en particulier la position du capteur, la contrainte du matériau, la température et   densité  

3. Vitesse de mesure : 100 ms à 1 s par fois, la plage de mesure peut être   ensemble ：500000Å（aluminium）

4. Cristal de capteur standard : 6 MHz

5, convient aux plaquettes   fréquence: 6 MHz  

adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm

bride de montage：CF35

Un autre accessoire

1, bateau en tungstène, tungstène   panier;

2、Évaporation organique   source (y compris le bateau à quartz et la source de chauffage en fil de tungstène)

3, série CY-CZK103 élevée   Ensemble de pompe moléculaire performant (y compris jauge à vide composite, mesure   plage 10-5Pa ~ 105Pa);

Petit ensemble de pompes moléculaires série CY-GZK60 (comprenant   jauge à vide composite, plage de mesure 10-5Pa ~ 102Pa)

Palette rotative bipolaire VRD-4   pompe à vide

4. Soufflet à vide KF25 ;Le   la longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 m.Support de serrage KF25 ;

5. Mesureur d'épaisseur de film   Oscillateur à cristal;