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TN-EVH300-III-HHH-SS
TN
La coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est un équipement sophistiqué conçu pour déposer des films minces sur des substrats avec précision et efficacité. Cette coucheuse utilise un processus d'évaporation thermique dans un environnement sous vide poussé pour garantir un dépôt de film uniforme et de haute qualité.
Dotée d'une technologie de pointe, cette coucheuse est capable de déposer une large gamme de matériaux sur divers substrats, ce qui la rend adaptée à une variété d'applications dans des industries telles que l'électronique, l'optique et la recherche. L'environnement sous vide poussé garantit que les films déposés sont exempts d'impuretés et de défauts, ce qui se traduit par une qualité de film supérieure.
Avec des commandes conviviales et une conception robuste, l'enduction par évaporation thermique sous vide poussé est facile à utiliser et à entretenir, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements de recherche et de production. Sa haute précision et sa fiabilité en font un outil précieux pour obtenir des résultats cohérents et reproductibles dans les processus de dépôt de couches minces.
Dans l’ensemble, la coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est une solution polyvalente et efficace pour déposer des films minces dans un environnement sous vide poussé, ce qui en fait un outil essentiel pour les chercheurs et les fabricants cherchant à obtenir des revêtements de film de haute qualité sur leurs substrats.
Domaines d'application du revêtement par évaporation sous vide poussé à trois sources : films métalliques et diélectriques, fabrication de capteurs à couche mince, élément optique, nano et microélectronique, batterie solaire
nom du produit | Évaporation sous vide poussé à trois sources Coucheuse | |
Numéro de produit | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
Étape d'échantillonnage | Taille | Support maximum échantillon φ150mm |
Fonction | Rotatif, chauffant jusqu'à 500°C | |
Source d'évaporation | Quantité | Bateau en tungstène x3 |
Pouvoir | Chaque source d'évaporation est équipée de une alimentation indépendante ; trois sources d'évaporation ont un total de trois alimentations indépendantes | |
Chambre à vide | Taille de la cavité | φ300x400mm |
Fenêtre d'observation | Avant φ100mm | |
Matériau de la cavité | Acier inoxydable 304 | |
Méthode ouverte | Porte d'entrée | |
Contrôle de l'épaisseur du film (en option) | Mesure de l'épaisseur d'un film de type cristal instrument, contrôleur d'épaisseur de film multicanal en option | |
Système de vide | Pompe primaire | Pompe à palettes rotative bipolaire |
Port d'échappement | KF16 | |
Pompe secondaire | Pompe turbomoléculaire | |
Port d'échappement | ISO160 | |
Mesure du vide | Résistance + Ionisation Vacuomètre composite | |
Taux d'échappement | Pompe mécanique 1,1L/s Pompe moléculaire 600L/s | |
Vide ultime | 1,0E-5Pa | |
Alimentation | CA 220 V 50/60 Hz | |
Taux de pompage | Pompe à palettes rotatives : 1,1 L/S | |
Système de contrôle | Contrôle automatique par API Interface de fonctionnement : écran tactile + panneau de commande (l'écran tactile contrôle le processus de dépôt et une saisie rapide des données ; système logiciel PLC convivial, peut être mis à jour via réseau) | |
Autre | Tension d'alimentation | AC220V, 50Hz |
Taille globale | 1200mm X 900mm X 1650mm | |
Puissance totale | 5 kW | |
Poids total | 500 kg |
La coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est un équipement utilisé pour déposer des films minces sur des substrats via un processus d'évaporation thermique dans un environnement sous vide poussé. Voici les principaux objectifs et applications d’une coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé :
Dépôt de couches minces: L'objectif principal d'une coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est de déposer des films minces de divers matériaux, tels que des métaux, des semi-conducteurs et des diélectriques, sur des substrats. Le processus consiste à chauffer un matériau sous vide poussé jusqu’à ce qu’il s’évapore puis se condense sur le substrat, formant un film mince.
Fabrication de microélectronique et de semi-conducteurs: L'évaporation thermique est utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs pour déposer des contacts métalliques, des couches d'adhésion et d'autres films conducteurs sur des tranches de semi-conducteurs. Il s'agit d'une technique clé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques tels que des transistors, des diodes et des circuits intégrés.
Revêtements optiques: Le dispositif de revêtement est largement utilisé pour appliquer des revêtements optiques, notamment des revêtements antireflet, des séparateurs de faisceau et des miroirs, sur des lentilles, du verre et d'autres composants optiques. L'environnement sous vide poussé garantit que les revêtements sont uniformes, purs et possèdent les propriétés optiques souhaitées.
Revêtements métalliques et diélectriques: L'évaporation thermique sous vide poussé est utilisée pour déposer à la fois des films métalliques (tels que l'or, l'argent, l'aluminium) et des films diélectriques (tels que le dioxyde de silicium, le dioxyde de titane) pour diverses applications, notamment les revêtements réfléchissants, les condensateurs et les couches isolantes.
Revêtements décoratifs: L'enduit est également utilisé à des fins décoratives, où de minces films métalliques sont déposés sur des produits de consommation tels que des montres, des bijoux et des boîtiers électroniques pour leur donner une finition métallique ou un attrait esthétique.
Recherche et développement: Dans les laboratoires de recherche, l'évaporation thermique est une méthode courante pour préparer des films minces pour la recherche en science des matériaux, en physique et en nanotechnologie. La possibilité de contrôler l’épaisseur et l’uniformité du film en fait un outil précieux pour les études expérimentales et le prototypage.
Fabrication de dispositifs organiques et inorganiques: L'évaporation thermique est utilisée dans la fabrication de diodes électroluminescentes organiques (OLED), de transistors à couches minces (TFT) et d'autres produits électroniques organiques. La technique est également utilisée dans la production de dispositifs à couches minces inorganiques comme les cellules solaires et les capteurs.
Applications de la nanotechnologie: En nanotechnologie, l'évaporation thermique est utilisée pour déposer des films minces pour la fabrication de nanostructures et de dispositifs à l'échelle nanométrique. L’environnement sous vide poussé garantit que le dépôt est propre et précis, ce qui est crucial pour les applications à l’échelle nanométrique.
Revêtements barrières et protecteurs: L'enduit peut être utilisé pour appliquer des revêtements protecteurs et barrières sur divers substrats afin d'améliorer leur durabilité, leur résistance à la corrosion et d'autres propriétés de surface. Ces revêtements sont utilisés dans des industries allant de l'emballage à l'aérospatiale.
Dans l’ensemble, une coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est un outil polyvalent qui joue un rôle crucial dans diverses industries et domaines de recherche. Il est apprécié pour sa capacité à déposer des films minces uniformes et de haute pureté avec un contrôle précis de l’épaisseur, ce qui le rend essentiel pour les applications en microélectronique, en optique, en science des matériaux et au-delà.
La coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est un équipement sophistiqué conçu pour déposer des films minces sur des substrats avec précision et efficacité. Cette coucheuse utilise un processus d'évaporation thermique dans un environnement sous vide poussé pour garantir un dépôt de film uniforme et de haute qualité.
Dotée d'une technologie de pointe, cette coucheuse est capable de déposer une large gamme de matériaux sur divers substrats, ce qui la rend adaptée à une variété d'applications dans des industries telles que l'électronique, l'optique et la recherche. L'environnement sous vide poussé garantit que les films déposés sont exempts d'impuretés et de défauts, ce qui se traduit par une qualité de film supérieure.
Avec des commandes conviviales et une conception robuste, l'enduction par évaporation thermique sous vide poussé est facile à utiliser et à entretenir, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements de recherche et de production. Sa haute précision et sa fiabilité en font un outil précieux pour obtenir des résultats cohérents et reproductibles dans les processus de dépôt de couches minces.
Dans l’ensemble, la coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est une solution polyvalente et efficace pour déposer des films minces dans un environnement sous vide poussé, ce qui en fait un outil essentiel pour les chercheurs et les fabricants cherchant à obtenir des revêtements de film de haute qualité sur leurs substrats.
Domaines d'application du revêtement par évaporation sous vide poussé à trois sources : films métalliques et diélectriques, fabrication de capteurs à couche mince, élément optique, nano et microélectronique, batterie solaire
nom du produit | Évaporation sous vide poussé à trois sources Coucheuse | |
Numéro de produit | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
Étape d'échantillonnage | Taille | Support maximum échantillon φ150mm |
Fonction | Rotatif, chauffant jusqu'à 500°C | |
Source d'évaporation | Quantité | Bateau en tungstène x3 |
Pouvoir | Chaque source d'évaporation est équipée de une alimentation indépendante ; trois sources d'évaporation ont un total de trois alimentations indépendantes | |
Chambre à vide | Taille de la cavité | φ300x400mm |
Fenêtre d'observation | Avant φ100mm | |
Matériau de la cavité | Acier inoxydable 304 | |
Méthode ouverte | Porte d'entrée | |
Contrôle de l'épaisseur du film (en option) | Mesure de l'épaisseur d'un film de type cristal instrument, contrôleur d'épaisseur de film multicanal en option | |
Système de vide | Pompe primaire | Pompe à palettes rotative bipolaire |
Port d'échappement | KF16 | |
Pompe secondaire | Pompe turbomoléculaire | |
Port d'échappement | ISO160 | |
Mesure du vide | Résistance + Ionisation Vacuomètre composite | |
Taux d'échappement | Pompe mécanique 1,1L/s Pompe moléculaire 600L/s | |
Vide ultime | 1,0E-5Pa | |
Alimentation | CA 220 V 50/60 Hz | |
Taux de pompage | Pompe à palettes rotatives : 1,1 L/S | |
Système de contrôle | Contrôle automatique par API Interface de fonctionnement : écran tactile + panneau de commande (l'écran tactile contrôle le processus de dépôt et une saisie rapide des données ; système logiciel PLC convivial, peut être mis à jour via réseau) | |
Autre | Tension d'alimentation | AC220V, 50Hz |
Taille globale | 1200mm X 900mm X 1650mm | |
Puissance totale | 5 kW | |
Poids total | 500 kg |
La coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est un équipement utilisé pour déposer des films minces sur des substrats via un processus d'évaporation thermique dans un environnement sous vide poussé. Voici les principaux objectifs et applications d’une coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé :
Dépôt de couches minces: L'objectif principal d'une coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est de déposer des films minces de divers matériaux, tels que des métaux, des semi-conducteurs et des diélectriques, sur des substrats. Le processus consiste à chauffer un matériau sous vide poussé jusqu’à ce qu’il s’évapore puis se condense sur le substrat, formant un film mince.
Fabrication de microélectronique et de semi-conducteurs: L'évaporation thermique est utilisée dans l'industrie des semi-conducteurs pour déposer des contacts métalliques, des couches d'adhésion et d'autres films conducteurs sur des tranches de semi-conducteurs. Il s'agit d'une technique clé dans la fabrication de dispositifs microélectroniques tels que des transistors, des diodes et des circuits intégrés.
Revêtements optiques: Le dispositif de revêtement est largement utilisé pour appliquer des revêtements optiques, notamment des revêtements antireflet, des séparateurs de faisceau et des miroirs, sur des lentilles, du verre et d'autres composants optiques. L'environnement sous vide poussé garantit que les revêtements sont uniformes, purs et possèdent les propriétés optiques souhaitées.
Revêtements métalliques et diélectriques: L'évaporation thermique sous vide poussé est utilisée pour déposer à la fois des films métalliques (tels que l'or, l'argent, l'aluminium) et des films diélectriques (tels que le dioxyde de silicium, le dioxyde de titane) pour diverses applications, notamment les revêtements réfléchissants, les condensateurs et les couches isolantes.
Revêtements décoratifs: L'enduit est également utilisé à des fins décoratives, où de minces films métalliques sont déposés sur des produits de consommation tels que des montres, des bijoux et des boîtiers électroniques pour leur donner une finition métallique ou un attrait esthétique.
Recherche et développement: Dans les laboratoires de recherche, l'évaporation thermique est une méthode courante pour préparer des films minces pour la recherche en science des matériaux, en physique et en nanotechnologie. La possibilité de contrôler l’épaisseur et l’uniformité du film en fait un outil précieux pour les études expérimentales et le prototypage.
Fabrication de dispositifs organiques et inorganiques: L'évaporation thermique est utilisée dans la fabrication de diodes électroluminescentes organiques (OLED), de transistors à couches minces (TFT) et d'autres produits électroniques organiques. La technique est également utilisée dans la production de dispositifs à couches minces inorganiques comme les cellules solaires et les capteurs.
Applications de la nanotechnologie: En nanotechnologie, l'évaporation thermique est utilisée pour déposer des films minces pour la fabrication de nanostructures et de dispositifs à l'échelle nanométrique. L’environnement sous vide poussé garantit que le dépôt est propre et précis, ce qui est crucial pour les applications à l’échelle nanométrique.
Revêtements barrières et protecteurs: L'enduit peut être utilisé pour appliquer des revêtements protecteurs et barrières sur divers substrats afin d'améliorer leur durabilité, leur résistance à la corrosion et d'autres propriétés de surface. Ces revêtements sont utilisés dans des industries allant de l'emballage à l'aérospatiale.
Dans l’ensemble, une coucheuse par évaporation thermique sous vide poussé est un outil polyvalent qui joue un rôle crucial dans diverses industries et domaines de recherche. Il est apprécié pour sa capacité à déposer des films minces uniformes et de haute pureté avec un contrôle précis de l’épaisseur, ce qui le rend essentiel pour les applications en microélectronique, en optique, en science des matériaux et au-delà.