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Machine de revêtement par évaporation thermique de bureau à double source avec cavité en acier inoxydable pour films ferroélectriques

Le revêtement d'évaporation thermique de bureau à double source peut être utilisé pour préparer divers films conducteurs, films semi-conducteurs, films ferroélectriques, films optiques, micro-traitement de dispositifs micro-nano, prétraitement d'échantillons au microscope électronique, etc.
État de disponibilité:
Quantité:
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  • TN-EVP170S-2S-A

  • TN

La coucheuse par évaporation thermique à double source de bureau est équipée de deux sources, permettant le dépôt simultané de plusieurs matériaux.La cavité en acier inoxydable assure d'excellentes performances de vide et empêche la contamination.


Cette coucheuse offre un contrôle précis de la température, permettant le dépôt de films avec une grande uniformité et reproductibilité.Il dispose d’une interface conviviale, facilitant la définition et la surveillance des paramètres de dépôt.La conception de bureau le rend compact et peu encombrant, idéal pour les laboratoires de recherche et la production à petite échelle.


Grâce à sa technologie avancée d'évaporation thermique, cette coucheuse offre une solution fiable et efficace pour le dépôt de couches minces.Il convient à un large éventail d'applications, notamment l'électronique, l'optoélectronique, les cellules solaires et l'ingénierie des surfaces.La construction de haute qualité et les matériaux durables garantissent des performances durables et des besoins d'entretien minimes.


Investissez dans cette coucheuse par évaporation thermique à double source de bureau avec cavité en acier inoxydable pour améliorer vos capacités de recherche et obtenir un dépôt précis de couches minces.Sa conception professionnelle et ses caractéristiques exceptionnelles en font un atout précieux pour tout laboratoire ou installation de production.

Nom du produit

Coucheuse de bureau par évaporation thermique à double source

modèle du produit

TN-EVP170S-2S-A

Installation   Condition

1、Fonctionne   température ambiante : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité :   55 % d'humidité relative ± 10 % d'humidité relative ;

2、Puissance de l'équipement   alimentation : AC220V, 50 Hz, doit être bien mis à la terre ;

3. Puissance nominale : 2500 w ;

4、Équipement pour   gaz :L'équipement   La chambre doit être remplie de gaz argon pour le nettoyage.Le client doit   préparer du gaz argon avec une pureté ≥99,99 %.

5、Taille du tableau   exigences : 600 mm × 600 mm × 700 mm , capacité portante ≥ 70 kg ;

6、Le poste   doit être bien ventilé et refroidi.

Technique   Indicateurs

1,  Nombre de   sources d'évaporation : 2, chaque source d'évaporation est équipée d'un déflecteur ;

2、Source d'évaporation   tension : 10 V

3、 Courant d'évaporation   est réglable en continu de 0 à 100A

4, avec deux bateaux en tungstène,   deux paniers en tungstène ;

5、  Acier inoxydable   table d'échantillons supérieure rotative, diamètre de 60 mm ;

6、  La distance   entre la plateforme d'échantillonnage et la source d'évaporation est réglable de 60   à 100 mm ;

7、 La cavité sous vide est un   cavité en acier inoxydable d'un diamètre extérieur de 170 mm,  un diamètre intérieur de 160 mm et une hauteur de   210 mm ;

8、Interface de pompage d'air   de la chambre à vide est KF40 ;

9、 L'interface d'admission d'air est   Joint à double virole de 1/4 pouces, réglage fin en acier inoxydable   une valve est fournie par défaut pour régler l'entrée d'air ;

10、 L'écran tactile est de 7 pouces   écran tactile couleur ;

11、 Pulvérisation réglable   courant, pulvérisation   la valeur du courant de sécurité et la valeur du vide de sécurité peuvent être définies ;

12、  Protection de sécurité:   surintensité, le vide est trop faible, coupe automatiquement le courant de pulvérisation ;

13、 Vide ultime : 1 Pa (double étage correspondant   pompe à palettes rotatives) ;

14、 La mesure du vide est   Jauge à vide Parana, le   la plage est : 1 ~ 105 Pa

Avis

1、Afin de donner pleinement   jouer sur les performances de vide de la cavité, il est recommandé de l'utiliser   avec groupe de pompe moléculaire

Accessoire en option

Film  

Moniteur d'épaisseur

1. Résolution de l'épaisseur du film : 0,0136Å (aluminium).

2、Précision du film   épaisseur : ± 0,5 %, cela dépend du processus   conditions, en particulier la position du capteur, la contrainte du matériau, la température et   densité  

3. Vitesse de mesure : 100 ms à 1 s par fois, la plage de mesure peut être   ensemble :500000Å(aluminium)

4. Cristal de capteur standard : 6 MHz

5, convient aux plaquettes   fréquence: 6 MHz  

adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm

bride de montage:CF35

Un autre   Accessoire

1, bateau en tungstène, tungstène   panier;

2、Évaporation organique   source (y compris le bateau à quartz et la source de chauffage en fil de tungstène)

3. Série TN-CZK103 hautes performances   ensemble de pompes moléculaires (comprenant un manomètre composite, une plage de mesure   10-5 Pa ~ 105 Pa) ;

Petit ensemble de pompes moléculaires série TN-GZK60 (comprenant   jauge à vide composite, plage de mesure 10-5Pa ~ 102Pa)

Palette rotative bipolaire VRD-4   pompe à vide

4. Soufflet à vide KF40 ;Le   la longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 m.Support de serrage KF40 ;

5. Mesureur d'épaisseur de film   Oscillateur à cristal;


sur: 
En vertu d'un: 
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Qui est un fabricant spécialisé dans la production d'instruments scientifiques de laboratoire.Nos produits sont largement utilisés dans les collèges, les instituts de recherche et les laboratoires.

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