| Quantité: | |
|---|---|
TN-EVP170S-1S-A
TN
Cette coucheuse par évaporation thermique de bureau.La cavité en acier inoxydable assure d'excellentes performances de vide et une conductivité thermique élevée, permettant un dépôt de film précis et uniforme.
Cette coucheuse par évaporation thermique de bureau est équipée de systèmes avancés de contrôle de la température et de surveillance du taux de dépôt, garantissant une épaisseur de film précise et reproductible.Il dispose également d'une interface conviviale, facilitant l'utilisation et le contrôle du processus de revêtement.
La conception compacte de cette coucheuse la rend adaptée aux environnements de laboratoire et de production à petite échelle.Il nécessite un minimum d’espace et peut être facilement intégré aux configurations existantes.
Grâce à ses capacités polyvalentes, cette coucheuse par évaporation thermique de bureau est un outil essentiel pour les chercheurs et les ingénieurs dans le domaine de la technologie des couches minces.Il permet un dépôt de film fiable et efficace pour une large gamme d'applications, notamment les dispositifs à semi-conducteurs, les cellules solaires, les capteurs, etc.
Investissez dans cette coucheuse par évaporation thermique de bureau de qualité professionnelle avec cavité en acier inoxydable pour obtenir des revêtements en couche mince précis et de haute qualité.Sa construction robuste, ses fonctionnalités avancées et son interface conviviale en font un atout précieux pour toute installation de recherche ou de production de couches minces.
Nom du produit | Évaporation thermique de bureau coucheuse avec cavité en acier inoxydable |
modèle du produit | TN-EVP170S-1S-A |
Installation Condition | 1、Environnement de travail température : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité : 55 % RH ± 10 % RH ; 2. Alimentation de l'équipement : AC220V, 50Hz, doit être bien mise à la terre ; 3. Puissance nominale : 1 200 W ; 4、Équipement pour le gaz ：La chambre de l'équipement doit être rempli de gaz argon pour le nettoyage.Le client doit préparer Gaz argon avec une pureté ≥99,99 %. · 5、Tableau exigences de taille : 600 mm × 600 mm × 700 mm, roulement capacité ≥ 50kg · ； 6、Le poste doit être bien ventilé et refroidi. |
Technique Indicateurs | 1、Source d'évaporation tension : 10 V 2、 Courant d'évaporation est réglable en continu de 0 à 100A 3、 Avec un bateau en tungstène, un panier en tungstène; 4、 Échantillon d'acier inoxydable table, diamètre de 60 mm; 5、 La distance entre la plateforme d'échantillonnage et la source d'évaporation est réglable de 60 à 100 mm ; 6、 La cavité sous vide est un cavité en acier inoxydable d'un diamètre extérieur de 170 mm, un diamètre intérieur de 160 mm et une hauteur de 210 mm ; 7、Il est équipé fenêtre d'observation en quartz avec déflecteur, la taille est de φ60 mm 8、Interface de pompage d'air de la chambre à vide est KF40 ; 9、 L'interface d'admission d'air est Joint à double virole de 1/4 de pouce ; 10、 L'écran tactile est de 7 pouces écran tactile couleur ; 11、 Pulvérisation réglable courant, pulvérisation la valeur du courant de sécurité et la valeur du vide de sécurité peuvent être définies ; 12、 Protection de sécurité: surintensité, le vide est trop faible, coupe automatiquement le courant de pulvérisation ; 13、 Vide ultime : 1 Pa (double étage correspondant pompe à palettes rotatives) ； 14、 La mesure du vide est Jauge à vide Parana, le la plage est : 1 ~ 105 Pa |
Avis | 1、Afin de donner pleinement jouer sur les performances de vide de la cavité, il est recommandé de l'utiliser avec groupe de pompe moléculaire. |
Accessoire en option | |
Film Moniteur d'épaisseur | 1. Résolution de l'épaisseur du film : 0,0136Å (aluminium). 2、Précision du film épaisseur : ± 0,5 %, cela dépend du processus conditions, en particulier la position du capteur, la contrainte du matériau, la température et densité 3. Vitesse de mesure : 100 ms à 1 s par fois, la plage de mesure peut être ensemble ：500000Å（aluminium） 4. Cristal de capteur standard : 6 MHz 5, convient aux plaquettes fréquence: 6 MHz adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm montage bride：CF35 |
Un autre Accessoire | 1, bateau en tungstène, tungstène panier; 2、Évaporation organique source (y compris le bateau à quartz et la source de chauffage en fil de tungstène) 3, série CY-CZK103 élevée Ensemble de pompe moléculaire performant (y compris jauge à vide composite, mesure plage 10-5Pa ~ 105Pa); Petit ensemble de pompes moléculaires série CY-GZK60 (comprenant jauge à vide composite, plage de mesure 10-5Pa ~ 102Pa) Palette rotative bipolaire VRD-4 pompe à vide 4. Soufflet à vide KF40 ;Le la longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 m.Support de serrage KF40 ; 5. Mesureur d'épaisseur de film Oscillateur à cristal; |
Cette coucheuse par évaporation thermique de bureau.La cavité en acier inoxydable assure d'excellentes performances de vide et une conductivité thermique élevée, permettant un dépôt de film précis et uniforme.
Cette coucheuse par évaporation thermique de bureau est équipée de systèmes avancés de contrôle de la température et de surveillance du taux de dépôt, garantissant une épaisseur de film précise et reproductible.Il dispose également d'une interface conviviale, facilitant l'utilisation et le contrôle du processus de revêtement.
La conception compacte de cette coucheuse la rend adaptée aux environnements de laboratoire et de production à petite échelle.Il nécessite un minimum d’espace et peut être facilement intégré aux configurations existantes.
Grâce à ses capacités polyvalentes, cette coucheuse par évaporation thermique de bureau est un outil essentiel pour les chercheurs et les ingénieurs dans le domaine de la technologie des couches minces.Il permet un dépôt de film fiable et efficace pour une large gamme d'applications, notamment les dispositifs à semi-conducteurs, les cellules solaires, les capteurs, etc.
Investissez dans cette coucheuse par évaporation thermique de bureau de qualité professionnelle avec cavité en acier inoxydable pour obtenir des revêtements en couche mince précis et de haute qualité.Sa construction robuste, ses fonctionnalités avancées et son interface conviviale en font un atout précieux pour toute installation de recherche ou de production de couches minces.
Nom du produit | Évaporation thermique de bureau coucheuse avec cavité en acier inoxydable |
modèle du produit | TN-EVP170S-1S-A |
Installation Condition | 1、Environnement de travail température : 25 ℃ ± 15 ℃, humidité : 55 % RH ± 10 % RH ; 2. Alimentation de l'équipement : AC220V, 50Hz, doit être bien mise à la terre ; 3. Puissance nominale : 1 200 W ; 4、Équipement pour le gaz ：La chambre de l'équipement doit être rempli de gaz argon pour le nettoyage.Le client doit préparer Gaz argon avec une pureté ≥99,99 %. · 5、Tableau exigences de taille : 600 mm × 600 mm × 700 mm, roulement capacité ≥ 50kg · ； 6、Le poste doit être bien ventilé et refroidi. |
Technique Indicateurs | 1、Source d'évaporation tension : 10 V 2、 Courant d'évaporation est réglable en continu de 0 à 100A 3、 Avec un bateau en tungstène, un panier en tungstène; 4、 Échantillon d'acier inoxydable table, diamètre de 60 mm; 5、 La distance entre la plateforme d'échantillonnage et la source d'évaporation est réglable de 60 à 100 mm ; 6、 La cavité sous vide est un cavité en acier inoxydable d'un diamètre extérieur de 170 mm, un diamètre intérieur de 160 mm et une hauteur de 210 mm ; 7、Il est équipé fenêtre d'observation en quartz avec déflecteur, la taille est de φ60 mm 8、Interface de pompage d'air de la chambre à vide est KF40 ; 9、 L'interface d'admission d'air est Joint à double virole de 1/4 de pouce ; 10、 L'écran tactile est de 7 pouces écran tactile couleur ; 11、 Pulvérisation réglable courant, pulvérisation la valeur du courant de sécurité et la valeur du vide de sécurité peuvent être définies ; 12、 Protection de sécurité: surintensité, le vide est trop faible, coupe automatiquement le courant de pulvérisation ; 13、 Vide ultime : 1 Pa (double étage correspondant pompe à palettes rotatives) ； 14、 La mesure du vide est Jauge à vide Parana, le la plage est : 1 ~ 105 Pa |
Avis | 1、Afin de donner pleinement jouer sur les performances de vide de la cavité, il est recommandé de l'utiliser avec groupe de pompe moléculaire. |
Accessoire en option | |
Film Moniteur d'épaisseur | 1. Résolution de l'épaisseur du film : 0,0136Å (aluminium). 2、Précision du film épaisseur : ± 0,5 %, cela dépend du processus conditions, en particulier la position du capteur, la contrainte du matériau, la température et densité 3. Vitesse de mesure : 100 ms à 1 s par fois, la plage de mesure peut être ensemble ：500000Å（aluminium） 4. Cristal de capteur standard : 6 MHz 5, convient aux plaquettes fréquence: 6 MHz adapté à la taille de la plaquette : Φ14 mm montage bride：CF35 |
Un autre Accessoire | 1, bateau en tungstène, tungstène panier; 2、Évaporation organique source (y compris le bateau à quartz et la source de chauffage en fil de tungstène) 3, série CY-CZK103 élevée Ensemble de pompe moléculaire performant (y compris jauge à vide composite, mesure plage 10-5Pa ~ 105Pa); Petit ensemble de pompes moléculaires série CY-GZK60 (comprenant jauge à vide composite, plage de mesure 10-5Pa ~ 102Pa) Palette rotative bipolaire VRD-4 pompe à vide 4. Soufflet à vide KF40 ;Le la longueur peut être de 0,5 m, 1 m ou 1,5 m.Support de serrage KF40 ; 5. Mesureur d'épaisseur de film Oscillateur à cristal; |
