| Quantité: | |
|---|---|
TN-O1200-50IIT
TN
Ce produit est un système de four à tube rotatif à double zone de chauffage hybride amélioré par plasma de 1200 ℃ (HPCVD).L'équipement comprend un four tubulaire à double zone de chauffage, un ensemble de sources d'évaporation de filament de tungstène, un ensemble de générateur de plasma et un ensemble de système de débitmètre massique.Son principe de fonctionnement est d'évaporer le réactif à l'extrémité d'entrée de gaz via la source d'évaporation et de le charger dans la zone de chauffage du four tubulaire via le flux d'air pour effectuer la réaction CVD.Dans le même temps, la réaction est favorisée par l’amélioration du plasma.Il convient au traitement thermique de poudre composite inorganique et à l'uniformité du revêtement de surface (par exemple, préparer des poudres cathodiques de batterie Li-Ion avec des revêtements conducteurs sur la surface de l'échantillon).
Paramètres techniques:
Deux four tubulaire à zone de chauffage | Produit modèle | TN-O1200-50IIT | |
fourneau matériau du tube | Haut quartz de pureté | ||
Tube diamètre | 50mm | ||
fourneau longueur du tube | 1200mm | ||
fourneau longueur de la chambre | 440mm | ||
Chauffage longueur de la zone | 200mm+200mm | ||
en fonctionnement température | 0～1100℃ | ||
Température précision du contrôle | ±1 ℃ | ||
Température mode de contrôle | 30 ou contrôle de la température par programme à 50 segments | ||
Afficher mode | HD écran tactile LCD couleur | ||
Scellage méthode | 304 bride à vide en acier inoxydable | ||
Pouvoir fournir | CA : 220 V 50/60 Hz 2,5 kW | ||
RF système de sortie | Pouvoir gamme | 0~500W Ajustable | |
fonctionnement fréquence | 13,56MHz+0,005% | ||
Fonctionnement mode | Continu sortir | ||
Correspondant mode impédance | Il peut être assorti et la lueur est uniformément répartie dans tout le four tube | ||
Pouvoir la stabilité | ≤2W | ||
Normale puissance réfléchie de travail | ≤3W | ||
Amplifié puissance réfléchie | ≤70W | ||
Harmonique composant | ≤-50dBc | ||
Dans l'ensemble efficacité | ≥70% | ||
Pouvoir Facteur | ≥90 % | ||
Fournir tension/fréquence | Monophasé Fréquence CA (187 V ~ 153 V) 50/60 Hz | ||
Contrôle mode | Interne contrôle/automate quantité analogique/RS232/485 communication | ||
Pouvoir paramètres de protection | CC protection contre les surintensités, protection contre la surchauffe de l'amplificateur de puissance, protection de la puissance réfléchie | ||
Refroidissement méthode | Forcé refroidissement par air | ||
Briller zone | Sous Ar, l'alimentation radiofréquence et la bobine coopèrent avec la lueur pour remplir le tube du four | ||
Évaporation bateau | Fonctionnement température | 1300℃ | |
Évaporation source | Tungstène panier métallique, creuset conique en alumine en option | ||
Thermocouple | S type thermocouple | ||
Fonctionnement actuel | ≤30A | ||
Max. pouvoir | 500W | ||
Gaz système de livraison | Débitmètre | Quatre canaux Débitmètre massique | |
Couler gamme | MFC1 plage : 0~200sccm Plage MFC2 : 0~200sccm MFC3 plage : 0~500sccm Plage MFC4 : 0~500sccm Correspondant aux gaz H2, CH4, N2, Ar. | ||
La mesure précision | ±1,5 % PE | ||
Répétabilité | ±0,2 % PE | ||
Précision linéaire | ±1 % PE | ||
Temps de réponse | ≤4s | ||
La pression de travail | -0,15 MPa ~ 0,15 MPa | ||
Couler contrôle | Écran LCD contrôle par écran tactile, affichage numérique, chaque canal de gaz contient une vanne à pointeau pour un contrôle individuel. | ||
Admission Interface | Il peut être connecté avec un tuyau en acier inoxydable de 1/4 NPS ou de 6 mm de diamètre extérieur | ||
Sortie Interface | Il peut être connecté avec un tuyau en acier inoxydable de 1/4 NPS ou de 6 mm de diamètre extérieur | ||
Connexion méthode | Double connecteur de virole | ||
en fonctionnement température | 5 ~ 45 ℃ | ||
Gaz prémélange | Équipé avec dispositif de prémélange de gaz | ||
Échappement système | Produit modèle | CY-GZK103-A | |
Moléculaire pompe | Turbomoléculaire pompe | ||
Support pompe | En deux étapes pompe à palettes | ||
Pompage taux | Moléculaire pompe : 600L/S | Complet performances de pompage : 30 minutes de vide peuvent atteindre : 5 × 10E-3Pa | |
Rotatif pompe à palettes : 1,1 L/S | |||
Ultime vide | 5×10E-4Pa | ||
Pompage port | KF40 | ||
Échappement interface | KF16 | ||
Vide la mesure | Composé jauge à vide | ||
Ce produit est un système de four à tube rotatif à double zone de chauffage hybride amélioré par plasma de 1200 ℃ (HPCVD).L'équipement comprend un four tubulaire à double zone de chauffage, un ensemble de sources d'évaporation de filament de tungstène, un ensemble de générateur de plasma et un ensemble de système de débitmètre massique.Son principe de fonctionnement est d'évaporer le réactif à l'extrémité d'entrée de gaz via la source d'évaporation et de le charger dans la zone de chauffage du four tubulaire via le flux d'air pour effectuer la réaction CVD.Dans le même temps, la réaction est favorisée par l’amélioration du plasma.Il convient au traitement thermique de poudre composite inorganique et à l'uniformité du revêtement de surface (par exemple, préparer des poudres cathodiques de batterie Li-Ion avec des revêtements conducteurs sur la surface de l'échantillon).
Paramètres techniques:
Deux four tubulaire à zone de chauffage | Produit modèle | TN-O1200-50IIT | |
fourneau matériau du tube | Haut quartz de pureté | ||
Tube diamètre | 50mm | ||
fourneau longueur du tube | 1200mm | ||
fourneau longueur de la chambre | 440mm | ||
Chauffage longueur de la zone | 200mm+200mm | ||
en fonctionnement température | 0～1100℃ | ||
Température précision du contrôle | ±1 ℃ | ||
Température mode de contrôle | 30 ou contrôle de la température par programme à 50 segments | ||
Afficher mode | HD écran tactile LCD couleur | ||
Scellage méthode | 304 bride à vide en acier inoxydable | ||
Pouvoir fournir | CA : 220 V 50/60 Hz 2,5 kW | ||
RF système de sortie | Pouvoir gamme | 0~500W Ajustable | |
fonctionnement fréquence | 13,56MHz+0,005% | ||
Fonctionnement mode | Continu sortir | ||
Correspondant mode impédance | Il peut être assorti et la lueur est uniformément répartie dans tout le four tube | ||
Pouvoir la stabilité | ≤2W | ||
Normale puissance réfléchie de travail | ≤3W | ||
Amplifié puissance réfléchie | ≤70W | ||
Harmonique composant | ≤-50dBc | ||
Dans l'ensemble efficacité | ≥70% | ||
Pouvoir Facteur | ≥90 % | ||
Fournir tension/fréquence | Monophasé Fréquence CA (187 V ~ 153 V) 50/60 Hz | ||
Contrôle mode | Interne contrôle/automate quantité analogique/RS232/485 communication | ||
Pouvoir paramètres de protection | CC protection contre les surintensités, protection contre la surchauffe de l'amplificateur de puissance, protection de la puissance réfléchie | ||
Refroidissement méthode | Forcé refroidissement par air | ||
Briller zone | Sous Ar, l'alimentation radiofréquence et la bobine coopèrent avec la lueur pour remplir le tube du four | ||
Évaporation bateau | Fonctionnement température | 1300℃ | |
Évaporation source | Tungstène panier métallique, creuset conique en alumine en option | ||
Thermocouple | S type thermocouple | ||
Fonctionnement actuel | ≤30A | ||
Max. pouvoir | 500W | ||
Gaz système de livraison | Débitmètre | Quatre canaux Débitmètre massique | |
Couler gamme | MFC1 plage : 0~200sccm Plage MFC2 : 0~200sccm MFC3 plage : 0~500sccm Plage MFC4 : 0~500sccm Correspondant aux gaz H2, CH4, N2, Ar. | ||
La mesure précision | ±1,5 % PE | ||
Répétabilité | ±0,2 % PE | ||
Précision linéaire | ±1 % PE | ||
Temps de réponse | ≤4s | ||
La pression de travail | -0,15 MPa ~ 0,15 MPa | ||
Couler contrôle | Écran LCD contrôle par écran tactile, affichage numérique, chaque canal de gaz contient une vanne à pointeau pour un contrôle individuel. | ||
Admission Interface | Il peut être connecté avec un tuyau en acier inoxydable de 1/4 NPS ou de 6 mm de diamètre extérieur | ||
Sortie Interface | Il peut être connecté avec un tuyau en acier inoxydable de 1/4 NPS ou de 6 mm de diamètre extérieur | ||
Connexion méthode | Double connecteur de virole | ||
en fonctionnement température | 5 ~ 45 ℃ | ||
Gaz prémélange | Équipé avec dispositif de prémélange de gaz | ||
Échappement système | Produit modèle | CY-GZK103-A | |
Moléculaire pompe | Turbomoléculaire pompe | ||
Support pompe | En deux étapes pompe à palettes | ||
Pompage taux | Moléculaire pompe : 600L/S | Complet performances de pompage : 30 minutes de vide peuvent atteindre : 5 × 10E-3Pa | |
Rotatif pompe à palettes : 1,1 L/S | |||
Ultime vide | 5×10E-4Pa | ||
Pompage port | KF40 | ||
Échappement interface | KF16 | ||
Vide la mesure | Composé jauge à vide | ||
