| Quantité: | |
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TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2
TN
Cet équipement est un dispositif de préparation de bisulfure de molybdène de grande taille au niveau des tranches conçu sur la base des principes CVD.Il comprend un four tubulaire à trois zones, un tube de four spécialement conçu et un ensemble de circuits de gaz de support.L'équipement peut libérer uniformément le gaz de réaction dans le tube du four via un pipeline spécialement conçu pour garantir la cohérence et l'uniformité du produit sur la tranche arrière.C'est le meilleur choix pour les expériences de préparation de bisulfure de molybdène.
Paramètres techniques:
Produit modèle | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
fourneau matériau du tube | Haut quartz de pureté |
fourneau taille du tube | Externe grand tube de quartz φ120mm x1000mm Interne petit tube de quartz φ25mm x820mm x7 |
Température longueur de la zone | Trois zone de chauffe 200mm+200mm+200mm |
Température précision du contrôle | ±1 ℃ |
Température courbe | Indépendant contrôle de la température dans trois zones de température, chaque zone de température peut être réglé avec une courbe de température temporelle à 30 segments |
en fonctionnement température | 0 ~ 1150 ℃ |
Chauffage taux | ≤10℃/min |
Admission système | Trois canaux Débitmètre massique Ar gaz 0~500sccm N2 gaz 0 ~ 200 sccm H2 gaz 0 ~ 200 sccm Équipé avec sept canaux de séparation des gaz, chemin de mélange de gaz. |
fourneau bride de tuyau | Inoxydable bride en acier refroidie à l'eau, équipée d'une interface sous vide KF16, mécanique vacuomètre et vanne à pointeau en acier inoxydable |
Pouvoir exigences | CA 220 V 50 Hz 4 kW |
Contrôle mode | 7 pouces écran tactile |
Vide pompe | Double pompe à vide à palettes rotatives à étage |
Vide | Théorique degré de vide ultime 10^-1Pa |
Cet équipement est un dispositif de préparation de bisulfure de molybdène de grande taille au niveau des tranches conçu sur la base des principes CVD.Il comprend un four tubulaire à trois zones, un tube de four spécialement conçu et un ensemble de circuits de gaz de support.L'équipement peut libérer uniformément le gaz de réaction dans le tube du four via un pipeline spécialement conçu pour garantir la cohérence et l'uniformité du produit sur la tranche arrière.C'est le meilleur choix pour les expériences de préparation de bisulfure de molybdène.
Paramètres techniques:
Produit modèle | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
fourneau matériau du tube | Haut quartz de pureté |
fourneau taille du tube | Externe grand tube de quartz φ120mm x1000mm Interne petit tube de quartz φ25mm x820mm x7 |
Température longueur de la zone | Trois zone de chauffe 200mm+200mm+200mm |
Température précision du contrôle | ±1 ℃ |
Température courbe | Indépendant contrôle de la température dans trois zones de température, chaque zone de température peut être réglé avec une courbe de température temporelle à 30 segments |
en fonctionnement température | 0 ~ 1150 ℃ |
Chauffage taux | ≤10℃/min |
Admission système | Trois canaux Débitmètre massique Ar gaz 0~500sccm N2 gaz 0 ~ 200 sccm H2 gaz 0 ~ 200 sccm Équipé avec sept canaux de séparation des gaz, chemin de mélange de gaz. |
fourneau bride de tuyau | Inoxydable bride en acier refroidie à l'eau, équipée d'une interface sous vide KF16, mécanique vacuomètre et vanne à pointeau en acier inoxydable |
Pouvoir exigences | CA 220 V 50 Hz 4 kW |
Contrôle mode | 7 pouces écran tactile |
Vide pompe | Double pompe à vide à palettes rotatives à étage |
Vide | Théorique degré de vide ultime 10^-1Pa |
