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L'instrument est un dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) équipé d'un système de mouvement roll-to-roll.Il est non seulement utilisé dans le processus de traitement thermique continu du fil machine, tel que la préparation de la fibre de carbone, la modification de l'alliage et d'autres matériaux du fil machine, mais également utilisé pour la croissance continue du graphène sur la bobine.
L'équipement est composé de cinq parties : un système de mouvement rouleau à rouleau, un four à tube ouvert à zone de chauffage de 1 200 ℃2, un système d'amélioration du plasma PE, un système de vide et un système d'alimentation en gaz avec débitmètre à protons à trois voies.L'ensemble du système peut fonctionner dans un environnement de protection sous vide/atmosphère.
La vitesse du dispositif d'enroulement peut être ajustée de 1 à 400 mm/min, et le mécanisme adopte un réglage par rétroaction, qui peut corriger automatiquement l'écart de vitesse et assurer la stabilité de la vitesse de l'échantillon, assurant ainsi la précision de l'expérience.
PECVD avec paramètre technique du système rouleau à rouleau :
1200Four tubulaire ouvert à 2 zones de chauffage | Article | Détail |
Tension | AC220V, 50Hz | |
maximum d'énergie | 3KW | |
Zone de chauffage | Double zones 200 mm + 200 mm | |
Température de fonctionnement | ≤1200℃ | |
Précision du contrôle de la température | ±1 ℃ | |
Méthode de contrôle de la température | Courbe de processus AI-PID en 30 étapes, peut stocker plusieurs | |
Matériau du tube | Quartz de haute pureté | |
Taille du tube | φ80 mm de diamètre intérieur x 1 400 mm de longueur | |
Mode de scellement | Bride à vide en acier inoxydable | |
Mesure du vide | Jauge de résistance | |
Gaz de travail | Gaz non corrosifs tels que l'hydrogène, l'azote, l'argon et l'oxygène | |
Pompe à vide | Pompe à vide bipolaire à palettes | |
Vide ultime | 10^-1Pa | |
Débitmètre massique à trois voies | Article | Détail |
Type de vanne | Vanne à pointeau en acier inoxydable | |
Canaux de gaz | Trois façons | |
Plage de pression | 0,05 ~ 0,3MPa | |
Gamme | 0~100 SCCM (Ar) 0~200 SCCM(H2) 0~500 SCCM(CH4) | |
Plage de contrôle de débit | ±1,5% | |
Volume du réservoir de mélange | 750 ml | |
Matériau du chemin de gaz | Acier inoxydable 304 | |
Interface de canalisation | Joint de type morsure de 6,35 mm | |
Source de courant | AC220V 50Hz | |
puissance radio | Article | Détail |
Puissance de sortie | 500W | |
Précision de sortie | ±1% | |
Fréquence RF | 13,56 MHz | |
Stabilité RF | ±0,005 % | |
Méthode de refroidissement | Eau froide |
L'instrument est un dispositif de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) équipé d'un système de mouvement roll-to-roll.Il est non seulement utilisé dans le processus de traitement thermique continu du fil machine, tel que la préparation de la fibre de carbone, la modification de l'alliage et d'autres matériaux du fil machine, mais également utilisé pour la croissance continue du graphène sur la bobine.
L'équipement est composé de cinq parties : un système de mouvement rouleau à rouleau, un four à tube ouvert à zone de chauffage de 1 200 ℃2, un système d'amélioration du plasma PE, un système de vide et un système d'alimentation en gaz avec débitmètre à protons à trois voies.L'ensemble du système peut fonctionner dans un environnement de protection sous vide/atmosphère.
La vitesse du dispositif d'enroulement peut être ajustée de 1 à 400 mm/min, et le mécanisme adopte un réglage par rétroaction, qui peut corriger automatiquement l'écart de vitesse et assurer la stabilité de la vitesse de l'échantillon, assurant ainsi la précision de l'expérience.
PECVD avec paramètre technique du système rouleau à rouleau :
1200Four tubulaire ouvert à 2 zones de chauffage | Article | Détail |
Tension | AC220V, 50Hz | |
maximum d'énergie | 3KW | |
Zone de chauffage | Double zones 200 mm + 200 mm | |
Température de fonctionnement | ≤1200℃ | |
Précision du contrôle de la température | ±1 ℃ | |
Méthode de contrôle de la température | Courbe de processus AI-PID en 30 étapes, peut stocker plusieurs | |
Matériau du tube | Quartz de haute pureté | |
Taille du tube | φ80 mm de diamètre intérieur x 1 400 mm de longueur | |
Mode de scellement | Bride à vide en acier inoxydable | |
Mesure du vide | Jauge de résistance | |
Gaz de travail | Gaz non corrosifs tels que l'hydrogène, l'azote, l'argon et l'oxygène | |
Pompe à vide | Pompe à vide bipolaire à palettes | |
Vide ultime | 10^-1Pa | |
Débitmètre massique à trois voies | Article | Détail |
Type de vanne | Vanne à pointeau en acier inoxydable | |
Canaux de gaz | Trois façons | |
Plage de pression | 0,05 ~ 0,3MPa | |
Gamme | 0~100 SCCM (Ar) 0~200 SCCM(H2) 0~500 SCCM(CH4) | |
Plage de contrôle de débit | ±1,5% | |
Volume du réservoir de mélange | 750 ml | |
Matériau du chemin de gaz | Acier inoxydable 304 | |
Interface de canalisation | Joint de type morsure de 6,35 mm | |
Source de courant | AC220V 50Hz | |
puissance radio | Article | Détail |
Puissance de sortie | 500W | |
Précision de sortie | ±1% | |
Fréquence RF | 13,56 MHz | |
Stabilité RF | ±0,005 % | |
Méthode de refroidissement | Eau froide |
