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2 sources de pulvérisation magnétron sous vide poussé avec tête flexible et connecteur rapide

2 sources de pulvérisation magnétron sous vide poussé avec tête flexible et connecteur rapide

Le TN-HVMSS-SPC-2 est un pistolet de pulvérisation à magnétron circulaire de 2' de diamètre qui peut accueillir une large gamme de cibles de pulvérisation, telles que des cibles métalliques/isolantes ou magnéto-magnétiques.

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Modèle:
TN-HVMSS-SPC-2
Marque de produit:
TN

Description du produit

Le TN-HVMSS-SPC-2 est un pistolet de pulvérisation à magnétron circulaire de 2' de diamètre qui peut accueillir une large gamme de cibles de pulvérisation, telles que métalliques/isolantes ou magnétron-magnétiques. L'aimant permanent circulaire NdFeB aux terres rares est mis en œuvre pour Assurer une excellente uniformité du film et une utilisation ciblée.Un tel pistolet de pulvérisation est facile à utiliser et à entretenir.L'installation est simple et il peut être utilisé avec une alimentation CC ou RF.

CARACTÉRISTIQUES:

Caractéristiques	La tête de pulvérisation peut être inclinée de +/- 25 degrés pour ajuster le angle d'incidence des bombardements pour améliorer le rendement de pulvérisation. Fabriqué à partir de matériaux de haute qualité en acier inoxydable et céramique. Des calculs par éléments finis électromagnétiques sont utilisés dans la conception de l'assemblage magnétique permanent pour obtenir une intensité de champ élevée et profil de champ uniforme. L'aimant est recouvert d'un matériau de protection contre l'eau de refroidissement corrosion pour maximiser la durabilité. Connecteur RF standard, qui correspond à une large gamme de DC et RF alimentations pour pulvérisation. Les têtes de pulvérisation à faible impédance sont facilement interfaçables avec une alimentation externe. Facile à installer un raccord standard avec rapide inclus connecteur Plaque de support en cuivre de 2' (EQ-CBP-2) est inclus. Le remplacement de la cible est facile et il n'est pas nécessaire d'ajuster le pistolet pour l'adapter cibles de hauteur différente.
Puissance requise	CC (max.) 500 W RF (Max.) 300 W
Type de connexion électrique	Connecteur de câble standard SL16 (Photo.1) Câble RF de 148 cm en option avec connecteur SL6 (cliquez sur la photo 2 pour commander)
Courant de pulvérisation (Max.)	5 ampères
Tension de pulvérisation	200-1 000 V
Pression de pulvérisation	1-1000 mTorr
Dimensions	Diamètre du bouclier d'anode : 86 mm
Cible de pulvérisation	Diamètre: 2,0' (50,8 mm), Épaisseur: jusqu'à 1/4' pour cible non magnétique ; jusqu'à à 1/16' pour cible magnétique Utilisation: Jusqu'à 30% Aimant: Aimant de terre rare NdFeB
Besoin en eau de refroidissement	Débit: 0,8 GPM, filtré Température d'entrée d'eau : <20°C Tuyauterie d'eau : Déconnexion rapide de 6 mm.
Montage	Passage : Tube OD 3/4'
Poids net	3,5 livres
Accessoires	Un connecteur rapide pour vide poussé avec un ID de 0,75' est inclus. Utilisation ce composant pour installer la source de pulvérisation sur la plaque de base (jusqu'à à 1' d'épaisseur) d'une chambre à vide avec un trou traversant de 1' de diamètre à facile ( cliquez sur la photo ci-dessous à gauche pour voir les détails) Une bride CF de 6' avec un passage sous vide poussé est disponible sur demande moyennant des frais supplémentaires.La tête de pulvérisation peut être facilement installé sur la bride à vide CF 6'' via le déconnecteur rapide. La position en hauteur du pistolet de pulvérisation peut être ajustée manuellement à l'intérieur de la chambre à vide. (Veuillez cliquer sur la photo ci-dessous 3 et 4 pour voir le détail) Refroidisseur d'eau à circulation à température contrôlée numérique avec Réservoir de 6 litres, débit de 16 L/min disponible moyennant un supplément, veuillez cliquer sur l'image ci-dessous à droite pour commander.