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1 source de pulvérisation magnétron avec tête flexible pour coucheuse de pulvérisation RF et DC DIY pour coucheuse de pulvérisation magnétron

1 source de pulvérisation magnétron avec tête flexible pour coucheuse de pulvérisation RF et DC DIY pour coucheuse de pulvérisation magnétron

Le TN-HVMSS-SPC-1-LD est un pistolet de pulvérisation magnétron doté d'une tête flexible capable de s'adapter à une large gamme de sources de pulvérisation de 1' de diamètre. Sa compatibilité avec les alimentations CC, CC pulsées et RF garantit une polyvalence maximale et étend son utilisation sur diverses cibles de pulvérisation

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Modèle:
TN-HVMSS-SPC-1-LD
Marque de produit:
TN

Description du produit

Le TN-HVMSS-SPC-1-LD est un pistolet de pulvérisation magnétron doté d'une tête flexible capable de s'adapter à une large gamme de sources de pulvérisation de 1' de diamètre. Sa compatibilité avec les alimentations CC, CC pulsées et RF garantit une polyvalence maximale et étend son utilisation sur diverses cibles de pulvérisation (par exemple métalliques, électriquement isolantes, magnétiques ou non magnétiques, etc.). De plus, sa conception sous vide poussé permet à l'utilisation de l'argon à basse pression d'améliorer la qualité du revêtement en réduisant les collisions de gaz à l'intérieur du chambre.

Des aimants circulaires Nd-Fe-B à base de terres rares isolés de l'eau de refroidissement sont intégrés dans la conception pour minimiser les interfaces eau-vide que l'on trouve généralement dans d'autres sources de pulvérisation cathodique.Ces aimants sont remplaçables sur site et rendent le pistolet de pulvérisation facile à utiliser et à entretenir.L'installation de cet appareil est simple et offre également des changements de cible simples qui ne nécessitent aucune liaison de cible.

CARACTÉRISTIQUES

Caractéristiques	Intensité de champ élevée et profil de champ uniforme obtenu grâce à l'utilisation des calculs électromagnétiques par éléments finis dans la conception du assemblage magnétique permanent Tête de pulvérisation à faible impédance et connecteur RF standard facilement s'adapte et s'interface avec une large gamme de puissances de pulvérisation DC et RF fournitures. Installation facile avec des outils courants. Les aimants sont isolés de l'eau de refroidissement grâce au revêtement contre la corrosion pour maximiser la durabilité. La source de pulvérisation peut être cuite jusqu'à 200°C Plaque de support en cuivre 1' (EQ-CBP-1) est inclus. Arbre standard de ¾' de diamètre extérieur Accepte des cibles de 1/8' (3 mm) d'épaisseur ; 1 morceau de cible en cuivre est inclus comme accessoire standard
Pistolet à pulvérisation	Tête de pulvérisation Diamètre: 1,82' (46,3 mm) Diamètre cible : 1,0 ± 0,02' (25,4 mm) Épaisseur cible maximale : 1/8' (3mm) Aimants : Aimant de terre rare NdFeB Diamètre de l'arbre : 3/4' DE
Connecteur électrique	Connecteur de câble standard SL16 (Photo.1) Câble RF de 148 cm en option avec connecteur SL6 (cliquez sur la photo 2 pour commander)
Puissance requise	CC (max.) 250 W RF (Max.)100 W
Courant de pulvérisation cathodique	3 ampères (max.)
Tension de pulvérisation cathodique	200 - 1 000 V
Plage de pression de fonctionnement	~1 mTorr à 1 Torr
Courbe d'uniformité de l'épaisseur de pulvérisation	NOTE: Le graphique d’épaisseur de film normalisé ci-dessus a été obtenu en déposant un film d'environ 200 nm d'épaisseur avec un PVD HV Pistolet de pulvérisation magnétron utilisant une cible Cu de 1 pouce.Les mesures ont été réalisée à l'aide d'une sonde 4 points dans deux directions mutuellement perpendiculaires (X, Y) sur la surface de la plaquette.Le film a été déposé sur un support oxydé plaquette de Si non rotative dans les conditions suivantes : 1. 150 watts CC en 10 mTorr (Ar) 2. Distance de 3 pouces (75 mm) de la cible substrat
Refroidissement par eau (obligatoire)	Exigence de débit : 1/2 GPM, filtré Température d'entrée d'eau : <20°C Raccordement à l'eau : 0,25' DE déconnexions rapides
Raccords électriques et de montage	Connecteur électrique : Type HN standard (CC et RF) La déconnexion rapide sous vide poussé est incluse.Vide poussé Rapide Déconnectez-vous avec un ID de 0,75' (compatible avec HVMSS-SPC-1-LD). Utilisez ceci composant pour installer l'outil de pulvérisation HVMSS-SPC-1-LD sur le plaque de base (jusqu'à 1' d'épaisseur) d'une chambre à vide avec 1' de diamètre à travers le trou
Bride à vide avec traversée (Facultatif)	Bride CF 6' avec un haut Une traversée sous vide est disponible sur demande moyennant un coût supplémentaire.Le La tête de pulvérisation peut être facilement installée sur la bride à vide CF de 6'' grâce à la pince à vide rapide.La position en hauteur du pistolet de pulvérisation peut être manuellement ajusté à l’intérieur de la chambre à vide.
Longueur totale	14 pouces
Poids net	3 livres
Assemblage inclinable	La tête de pulvérisation peut être inclinée de +/- 45 degrés pour ajuster le angle d'incidence des bombardements pour améliorer le rendement de pulvérisation. Les lignes de traçage sur l'ensemble d'inclinaison offrent des réglages d'angle précis.
Accessoires optionnels	Température numérique Refroidisseur d'eau à circulation contrôlée avec réservoir de 6 litres, un débit de 16 L/min est disponible moyennant un supplément, veuillez commander séparément. MTI propose divers accessoires de pulvérisation conçus pour être utilisés avec le pistolet de pulvérisation magnétron HVMSS-SPC-1 pour clients intéressés par la création d'une pulvérisation magnétron personnalisée Enduiseurs :