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1 source de pulvérisation magnétron avec connecteur rapide sous vide poussé pour coucheuse de pulvérisation magnétron

1 source de pulvérisation magnétron avec connecteur rapide sous vide poussé pour coucheuse de pulvérisation magnétron

Le TN-HVMSS-SPC-1 est un pistolet de pulvérisation magnétron à tête droite, capable de s'adapter à une large gamme de sources de pulvérisation de 1' de diamètre. Sa compatibilité avec les alimentations CC, CC pulsées et RF garantit une polyvalence maximale et étend son utilisation à diverses cibles de pulvérisation

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Modèle:
TN-HVMSS-SPC-1
Marque de produit:
TN

Description du produit

Le TN-HVMSS-SPC-1 est un pistolet de pulvérisation magnétron à tête droite, capable de s'adapter à une large gamme de sources de pulvérisation de 1' de diamètre. Sa compatibilité avec les alimentations CC, CC pulsées et RF garantit une polyvalence maximale et étend son utilisation à diverses cibles de pulvérisation (par exemple métalliques, électriquement isolantes, magnétiques ou non magnétiques, etc.). Le dispositif de connecteur rapide est inclus pour rendre l'installation de cet appareil simple et il offre également des changements de cible simples qui ne nécessitent aucune liaison de cible.

CARACTÉRISTIQUES

Caractéristiques	Intensité de champ élevée et profil de champ uniforme obtenu grâce à l'utilisation des calculs électromagnétiques par éléments finis dans la conception du assemblage magnétique permanent Tête de pulvérisation à faible impédance et connecteur RF standard facilement correspondre et s'interfacer avec une large gamme de pulvérisation DC et RF alimentations. Installation facile avec des outils courants. Les aimants sont isolés de l'eau de refroidissement avec un revêtement contre la corrosion pour maximiser la durabilité. Plaque de support en cuivre 1' (EQ-CBP-1) est inclus. La source de pulvérisation peut être cuite jusqu'à 200°C Arbre standard de ¾' de diamètre extérieur Accepte des cibles de 1/8' (3 mm) d'épaisseur ; 1 morceau de cible en cuivre est inclus comme accessoire standard
Pistolet à pulvérisation	Tête de pulvérisation Diamètre: 1,82' (46,3 mm) Diamètre cible : 1,0 ± 0,02' (25,4 mm) Épaisseur cible maximale : 1/8' (3mm) Aimants : Aimant de terre rare NdFeB Diamètre de l'arbre : 3/4' DE
Connecteur électrique	Connecteur de câble standard SL16 (Photo.1) Câble RF de 148 cm en option avec connecteur SL6 (cliquez sur la photo 2 pour commander)
Puissance requise	CC (Max.) 250 W RF (Max.) 100 W
Courant de pulvérisation cathodique	3 ampères (max.)
Tension de pulvérisation cathodique	200 - 1 000 V
Plage de pression de fonctionnement	~1 mTorr à 1 Torr
Épaisseur de pulvérisation Courbe d'uniformité	NOTE: Le graphique d'épaisseur de film normalisé ci-dessus a été obtenu à partir de dépôt d'un film d'environ 200 nm d'épaisseur avec un pistolet de pulvérisation magnétron PVD HV en utilisant une cible Cu de 1 pouce.Les mesures ont été effectuées à l'aide d'un 4 points sonde dans deux directions mutuellement perpendiculaires (X, Y) à travers la tranche surface.Le film a été déposé sur une plaquette de Si oxydée non rotative. dans les conditions suivantes : 150 watts CC en 10 mTorr (Ar) La distance de 3 pouces (75 mm) de la cible au substrat
Refroidissement par eau (obligatoire)	Exigence de débit : 1/2 GPM, filtré Température d'entrée d'eau : <20°C Raccordement à l'eau : 0,25' DE Tube. Veuillez nous informer de la taille du tube de votre refroidisseur d'eau, nous pouvons préinstallez le raccord pour vous moyennant un coût supplémentaire.
Raccords électriques et de montage	Connecteur électrique : Type HN standard (CC et RF) Le connecteur rapide pour vide poussé est préinstallé pour une utilisation immédiate. Utilisation, qui peut installer la source de pulvérisation sur le plaque de base (jusqu'à 1' d'épaisseur) d'une chambre à vide avec 1' de diamètre traversant facilement.
Bride à vide avec traversée (Facultatif)	Bride CF 6' avec un haut Une traversée sous vide est disponible sur demande moyennant un coût supplémentaire.Le La tête de pulvérisation peut être facilement installée sur la bride à vide CF de 6'' grâce à le déconnecteur rapide.La position en hauteur du pistolet de pulvérisation peut être réglé manuellement à l'intérieur de la chambre à vide.
Cible de pulvérisation plasma	Plaque de support en cuivre 1' (EQ-CBP-1) est inclus. Veuillez cliquer pour commander d'autres 1' Dia. Cible de pulvérisation plasma
Longueur totale	14 pouces
Poids net	3 livres
Accessoires optionnels	Refroidisseur d'eau à recirculation à température contrôlée numérique avec 6 Réservoir de litres, débit de 16 L/min disponible moyennant un supplément, veuillez commander Séparément, cliquez sur la photo ci-dessous à gauche pour commander. MTI propose une source d'alimentation CC et RF ainsi qu'une chambre à vide Pour le système de pulvérisation DIY (cliquez sur la photo ci-dessous pour commander)