État de disponibilité: | |
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Quantité: | |
TN
Source de plasma pour revêtement ionique multi-arc
Cavité | PBN(N2/H2)、Quartz(O2/H2) |
Bride | ICF114(CF63) |
Structure de refroidissement par eau | Avoir |
Puissance maximum | 600W |
Fréquence d'apparition | 13,56 MHz |
Bride d'entrée de gaz | ICF34(CF16) |
Source de plasma pour revêtement ionique multi-arc
Cavité | PBN(N2/H2)、Quartz(O2/H2) |
Bride | ICF114(CF63) |
Structure de refroidissement par eau | Avoir |
Puissance maximum | 600W |
Fréquence d'apparition | 13,56 MHz |
Bride d'entrée de gaz | ICF34(CF16) |