TN
La source utilise un aimant permanent pour générer un champ magnétique divergent avec un gradient important dans la direction axiale à proximité de l'anode, et sous l'action du courant Hall annulaire, les ions sont accélérés dans la direction axiale pour former un faisceau d'ions.Par conséquent, cette source est souvent appelée source d’ions Hall.
Fonction du produit :
1. Améliorer la force de liaison de la couche de film :
2. Réduire l’absorption :
3. Améliorer la densité de la couche de film :
Caractéristiques:
1. Faible énergie 2. Densité de courant de faisceau ionique élevée 3. Grande surface uniforme 4. Facilité d'utilisation 5. Rentabilité élevée.
Paramètres techniques:
Décharge tension | 100--200 (V) |
Décharge actuel | 0--3 (UN) |
En vigueur armoire | Ø600 (mm,Max) |
La source utilise un aimant permanent pour générer un champ magnétique divergent avec un gradient important dans la direction axiale à proximité de l'anode, et sous l'action du courant Hall annulaire, les ions sont accélérés dans la direction axiale pour former un faisceau d'ions.Par conséquent, cette source est souvent appelée source d’ions Hall.
Fonction du produit :
1. Améliorer la force de liaison de la couche de film :
2. Réduire l’absorption :
3. Améliorer la densité de la couche de film :
Caractéristiques:
1. Faible énergie 2. Densité de courant de faisceau ionique élevée 3. Grande surface uniforme 4. Facilité d'utilisation 5. Rentabilité élevée.
Paramètres techniques:
Décharge tension | 100--200 (V) |
Décharge actuel | 0--3 (UN) |
En vigueur armoire | Ø600 (mm,Max) |
