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TN-FDC-S
TN
Le contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S convient au revêtement par faisceau d'électrons, à la pulvérisation magnétron, à l'évaporation thermique par résistance et à d'autres occasions de contrôle de l'épaisseur du revêtement.
Il forme un contrôle en boucle fermée avec une source d'évaporation pour contrôler et afficher les données complètes du revêtement en temps réel, y compris la puissance, la vitesse, l'épaisseur et le temps utilisé.Des films multicouches optiques et métalliques complexes peuvent être plaqués.Diverses opérations peuvent être réalisées grâce au contrôle par écran tactile, qui est plus intuitif et compréhensible que l'opération par clé traditionnelle.
La programmation des instruments est très pratique, un total de 8 systèmes de film peuvent être définis, chaque système de film comporte 100 couches de couche de revêtement, ce qui vous apporte une grande commodité dans le revêtement multicouche.
Le contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S possède les fonctions spéciales suivantes : Contrôle manuel : arrêt manuel du revêtement, revêtement en fonction de la puissance actuelle en cas de défaillance des vibrations du cristal, commutation de la tranche pour continuer (sonde multi-puces), interruption du système de film. , pré-fusion simultanée de deux sources, protection par mot de passe, etc.
Caractéristiques techniques
1. Fonctionnement entièrement tactile, simple et facile à utiliser ;
2. 32 systèmes de films, chacun avec 50/100 couches de revêtement automatique ;
3. 12 entrées de signal ; 12 sorties de commutation ;
4. Fournir des modes de contrôle entièrement automatiques, semi-automatiques et manuels ;
5. Deux sources peuvent être contrôlées, l'une fonctionnant et l'autre pré-dissolvante ;
paramètres techniques
Cristal fréquence | 6MHz (Cristal 2,5 M 3 M 5 M 9 M en option) |
Afficher mode | 5 'Écran tactile couleur + vitesse d'affichage du tube Nixie et épaisseur réelle |
Opération mode | Touche écran |
Final épaisseur | 00μ0000Å-99μ9999Å |
Épaisseur résolution d'affichage | 1Å/s |
Taux résolution d'affichage | 0,1Å/s |
Nombre de couches de revêtement | 32 système de film, 50/100 couches par système de film ; |
Nombre de sondes | A B |
Instrumental facteur | 0,01-99,99 |
Time afficher | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Pouvoir afficher | 0 ~ 99,9 % |
Préfusion pouvoir | 0 ~ 99 % |
Pré puissance de placage | 0 ~ 99,9 % |
Pré temps de fusion/temps de pré-placage | 0 ~ 99:99 MS |
Pré temps de fusion et de maintien /Pré temps de maintien du placage | 0 ~ 99:99 MS |
enrobage tarif (tarif fixe) | 0~999,9Å/s |
Matériel stockage | 257 + 10 personnalisés |
Communication | RS232/RS485 |
Contrôlable source d'évaporation | 2, un pour le fonctionnement et l'autre pour la pré-dissolution |
Sortir contrôle | ±10 V/5 V/2,5 V |
I /interface | 12 entrées de signal / 12 sorties de commutation |
Nombre de creusets contrôlables | 1-16 |
enrobage afficher | Taux courbe / valeur |
enrobage temps de circuit | 50 / 100 couches par système de membrane |
Taille | 480 × 280 × 89 mm (boîtier 2U 19 ') |
Particularités :
1. Trois types de mode de revêtement manuel, semi-automatique et automatique, pour répondre à une variété de configurations de machines de revêtement ;
2. Revêtement d'arrêt manuel : revêtement d'arrêt manuel dans le processus de revêtement ;
3. Contrôle manuel : déterminer les exigences initiales du processus de revêtement ;
4. Système de film d'interruption : en cas de problèmes ou de défauts détectés dans le revêtement automatique et semi-automatique, le revêtement peut être arrêté et l'état actuel peut être automatiquement sauvegardé.Une fois les défauts éliminés, le revêtement peut continuer sans interrompre le système de film ;
5. Lors du revêtement automatique ou semi-automatique, si la vibration du cristal échoue, vous pouvez choisir d'arrêter le revêtement, le revêtement en fonction de la durée d'alimentation actuelle, changer de puce pour continuer (sonde multi-puces) ;
6. Deux sources sont préfondues en même temps : au début du processus de revêtement actuel, la deuxième couche peut être préfondue en même temps, afin de répondre à la situation de délais serrés ;
7. Protection par mot de passe : la fonction de protection par mot de passe pour le système de film et les paramètres du film afin de protéger les paramètres du processus contre toute modification par du personnel non spécialisé ;
8. Enregistrement des données de revêtement : lors d'un revêtement automatique ou semi-automatique, le système peut enregistrer le temps de formation du film et les paramètres de taux d'épaisseur final de chaque couche de film.
Le contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S convient au revêtement par faisceau d'électrons, à la pulvérisation magnétron, à l'évaporation thermique par résistance et à d'autres occasions de contrôle de l'épaisseur du revêtement.
Il forme un contrôle en boucle fermée avec une source d'évaporation pour contrôler et afficher les données complètes du revêtement en temps réel, y compris la puissance, la vitesse, l'épaisseur et le temps utilisé.Des films multicouches optiques et métalliques complexes peuvent être plaqués.Diverses opérations peuvent être réalisées grâce au contrôle par écran tactile, qui est plus intuitif et compréhensible que l'opération par clé traditionnelle.
La programmation des instruments est très pratique, un total de 8 systèmes de film peuvent être définis, chaque système de film comporte 100 couches de couche de revêtement, ce qui vous apporte une grande commodité dans le revêtement multicouche.
Le contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S possède les fonctions spéciales suivantes : Contrôle manuel : arrêt manuel du revêtement, revêtement en fonction de la puissance actuelle en cas de défaillance des vibrations du cristal, commutation de la tranche pour continuer (sonde multi-puces), interruption du système de film. , pré-fusion simultanée de deux sources, protection par mot de passe, etc.
Caractéristiques techniques
1. Fonctionnement entièrement tactile, simple et facile à utiliser ;
2. 32 systèmes de films, chacun avec 50/100 couches de revêtement automatique ;
3. 12 entrées de signal ; 12 sorties de commutation ;
4. Fournir des modes de contrôle entièrement automatiques, semi-automatiques et manuels ;
5. Deux sources peuvent être contrôlées, l'une fonctionnant et l'autre pré-dissolvante ;
paramètres techniques
Cristal fréquence | 6MHz (Cristal 2,5 M 3 M 5 M 9 M en option) |
Afficher mode | 5 'Écran tactile couleur + vitesse d'affichage du tube Nixie et épaisseur réelle |
Opération mode | Touche écran |
Final épaisseur | 00μ0000Å-99μ9999Å |
Épaisseur résolution d'affichage | 1Å/s |
Taux résolution d'affichage | 0,1Å/s |
Nombre de couches de revêtement | 32 système de film, 50/100 couches par système de film ; |
Nombre de sondes | A B |
Instrumental facteur | 0,01-99,99 |
Time afficher | 00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Pouvoir afficher | 0 ~ 99,9 % |
Préfusion pouvoir | 0 ~ 99 % |
Pré puissance de placage | 0 ~ 99,9 % |
Pré temps de fusion/temps de pré-placage | 0 ~ 99:99 MS |
Pré temps de fusion et de maintien /Pré temps de maintien du placage | 0 ~ 99:99 MS |
enrobage tarif (tarif fixe) | 0~999,9Å/s |
Matériel stockage | 257 + 10 personnalisés |
Communication | RS232/RS485 |
Contrôlable source d'évaporation | 2, un pour le fonctionnement et l'autre pour la pré-dissolution |
Sortir contrôle | ±10 V/5 V/2,5 V |
I /interface | 12 entrées de signal / 12 sorties de commutation |
Nombre de creusets contrôlables | 1-16 |
enrobage afficher | Taux courbe / valeur |
enrobage temps de circuit | 50 / 100 couches par système de membrane |
Taille | 480 × 280 × 89 mm (boîtier 2U 19 ') |
Particularités :
1. Trois types de mode de revêtement manuel, semi-automatique et automatique, pour répondre à une variété de configurations de machines de revêtement ;
2. Revêtement d'arrêt manuel : revêtement d'arrêt manuel dans le processus de revêtement ;
3. Contrôle manuel : déterminer les exigences initiales du processus de revêtement ;
4. Système de film d'interruption : en cas de problèmes ou de défauts détectés dans le revêtement automatique et semi-automatique, le revêtement peut être arrêté et l'état actuel peut être automatiquement sauvegardé.Une fois les défauts éliminés, le revêtement peut continuer sans interrompre le système de film ;
5. Lors du revêtement automatique ou semi-automatique, si la vibration du cristal échoue, vous pouvez choisir d'arrêter le revêtement, le revêtement en fonction de la durée d'alimentation actuelle, changer de puce pour continuer (sonde multi-puces) ;
6. Deux sources sont préfondues en même temps : au début du processus de revêtement actuel, la deuxième couche peut être préfondue en même temps, afin de répondre à la situation de délais serrés ;
7. Protection par mot de passe : la fonction de protection par mot de passe pour le système de film et les paramètres du film afin de protéger les paramètres du processus contre toute modification par du personnel non spécialisé ;
8. Enregistrement des données de revêtement : lors d'un revêtement automatique ou semi-automatique, le système peut enregistrer le temps de formation du film et les paramètres de taux d'épaisseur final de chaque couche de film.