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Contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S

Le contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S convient au revêtement par faisceau d'électrons, à la pulvérisation magnétron, à l'évaporation thermique par résistance et à d'autres occasions de contrôle de l'épaisseur du revêtement.
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Quantité:
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  • TN-FDC-S

  • TN

Le contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S convient au revêtement par faisceau d'électrons, à la pulvérisation magnétron, à l'évaporation thermique par résistance et à d'autres occasions de contrôle de l'épaisseur du revêtement.

Il forme un contrôle en boucle fermée avec une source d'évaporation pour contrôler et afficher les données complètes du revêtement en temps réel, y compris la puissance, la vitesse, l'épaisseur et le temps utilisé.Des films multicouches optiques et métalliques complexes peuvent être plaqués.Diverses opérations peuvent être réalisées grâce au contrôle par écran tactile, qui est plus intuitif et compréhensible que l'opération par clé traditionnelle.

La programmation des instruments est très pratique, un total de 8 systèmes de film peuvent être définis, chaque système de film comporte 100 couches de couche de revêtement, ce qui vous apporte une grande commodité dans le revêtement multicouche.

Le contrôleur d'épaisseur de film TN-FDC-S possède les fonctions spéciales suivantes : Contrôle manuel : arrêt manuel du revêtement, revêtement en fonction de la puissance actuelle en cas de défaillance des vibrations du cristal, commutation de la tranche pour continuer (sonde multi-puces), interruption du système de film. , pré-fusion simultanée de deux sources, protection par mot de passe, etc.

Caractéristiques techniques

1. Fonctionnement entièrement tactile, simple et facile à utiliser ;

2. 32 systèmes de films, chacun avec 50/100 couches de revêtement automatique ;

3. 12 entrées de signal ; 12 sorties de commutation ;

4. Fournir des modes de contrôle entièrement automatiques, semi-automatiques et manuels ;

5. Deux sources peuvent être contrôlées, l'une fonctionnant et l'autre pré-dissolvante ;

paramètres techniques

Cristal   fréquence

6MHz   (Cristal 2,5 M 3 M 5 M 9 M en option)

Afficher   mode

5   'Écran tactile couleur + vitesse d'affichage du tube Nixie et épaisseur réelle

Opération   mode

Touche   écran

Final   épaisseur

00μ0000Å-99μ9999Å

Épaisseur   résolution d'affichage

1Å/s

Taux   résolution d'affichage

0,1Å/s

Nombre   de couches de revêtement

32   système de film, 50/100 couches par système de film ;

Nombre   de sondes

A    B

Instrumental   facteur

0,01-99,99

Time   afficher

00:00:00-23:59:59   H:M:S

Pouvoir   afficher

0 ~ 99,9 %

Préfusion   pouvoir

0 ~ 99 %

Pré   puissance de placage

0 ~ 99,9 %

Pré   temps de fusion/temps de pré-placage

0 ~ 99:99    MS

Pré   temps de fusion et de maintien

/Pré   temps de maintien du placage

0 ~ 99:99    MS

enrobage   tarif (tarif fixe)

0~999,9Å/s

Matériel   stockage

257   + 10 personnalisés

Communication

RS232/RS485

Contrôlable   source d'évaporation

2,   un pour le fonctionnement et l'autre pour la pré-dissolution

Sortir   contrôle

±10 V/5 V/2,5 V

I   /interface

12   entrées de signal / 12 sorties de commutation

Nombre   de creusets contrôlables

1-16

enrobage   afficher

Taux   courbe / valeur

enrobage   temps de circuit

50   / 100 couches par système de membrane

Taille

480   × 280 × 89 mm (boîtier 2U 19 ')

Particularités :

1. Trois types de mode de revêtement manuel, semi-automatique et automatique, pour répondre à une variété de configurations de machines de revêtement ;

2. Revêtement d'arrêt manuel : revêtement d'arrêt manuel dans le processus de revêtement ;

3. Contrôle manuel : déterminer les exigences initiales du processus de revêtement ;

4. Système de film d'interruption : en cas de problèmes ou de défauts détectés dans le revêtement automatique et semi-automatique, le revêtement peut être arrêté et l'état actuel peut être automatiquement sauvegardé.Une fois les défauts éliminés, le revêtement peut continuer sans interrompre le système de film ;

5. Lors du revêtement automatique ou semi-automatique, si la vibration du cristal échoue, vous pouvez choisir d'arrêter le revêtement, le revêtement en fonction de la durée d'alimentation actuelle, changer de puce pour continuer (sonde multi-puces) ;

6. Deux sources sont préfondues en même temps : au début du processus de revêtement actuel, la deuxième couche peut être préfondue en même temps, afin de répondre à la situation de délais serrés ;

7. Protection par mot de passe : la fonction de protection par mot de passe pour le système de film et les paramètres du film afin de protéger les paramètres du processus contre toute modification par du personnel non spécialisé ;

8. Enregistrement des données de revêtement : lors d'un revêtement automatique ou semi-automatique, le système peut enregistrer le temps de formation du film et les paramètres de taux d'épaisseur final de chaque couche de film.




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