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Alimentation haute tension RF pour coucheuse par pulvérisation magnétron

Alimentation haute tension RF pour coucheuse par pulvérisation magnétron
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  • TN

Le générateur RF à semi-conducteurs adopte la dernière technologie  d'amplificateur de puissance et de module DC, qui promettent au générateur une puissance de sortie RF stable et une longue durée de vie.

L'unité de correspondance automatique du générateur RF adopte la plate-forme de réseau numérique la plus avancée.Il peut adapter l'impédance complexe du plasma à votre plage de rotation de manière rapide, précise et reproductible.

Par rapport aux méthodes de réglage analogiques traditionnelles, les lagorithmes de réglage numérique et les pilotes de moteur pas à pas produisent des réponses plus rapides, plus précises et hautement reproductibles qui correspondent toujours au point d'impédance de la charge.

Des composants de haute qualité et en faible quantité maximisent la fiabilité du générateur RF et sa longue durée de vie.

Écran LCD et il peut être utilisé directement sur le panneau de commande, améliore l'efficacité et le coût de formation.

Modèle

AGA-1303

Sortir   pouvoir

5W-300W

Max. réfléchi   pouvoir

100W

Pouvoir   précision

±0,1%

harmonique   composant

≤-50dBC

Pouvoir   Fournir

Célibataire   phase187V-253V, 50/60HZ

dans l'ensemble   efficacité

≥70%

pouvoir   facteur

≥90 %

Max.   Correspondre à la puissance de transmission

500w

Puissance réfléchie (Max.   pouvoir)

<3s

Max.   courant de charge

30ARMS

Max.   tension de charge

7500VRMS

RF   connecteur de sortie

50 Ω,   L29, personnalisable

Correspondre   temps

1 ~ 3 s

Matchable   plage de pièces réelles d'impédance

0~80Ω

Matchable   plage de la partie imaginaire d'impédance

﹣200j~ ﹢200j

Refroidissement   Taper

force aérienne   refroidissement

Total   Poids

19,5kg

Dans l'ensemble   taille

133   mm (H)×440 mm (L)×410 mm (P)


sur: 
En vertu d'un: 
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